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ADVANCED CONTROL DESIGN OF MEMS VIBRATORY GYROSCOPES
JUNTAO FEI EDITOR2012 年出版180 页ISBN： -
Materials and failures in MEMS and NEMS
Atul Tiwari ; Baldev Raj2015 年出版406 页ISBN：1119083605 -
微电子机械加工系统(MEMS)技术基础
孙以材，庞冬青编著2009 年出版194 页ISBN：9787502447946本书介绍微电子机械加工（MEMS）技术基础，详细介绍了电学、热血和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法等。
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MEMS设计模拟与仿真系统应用-Coventor Ware
郝永平，刘凤丽，刘世明编著2007 年出版240 页ISBN：711804749XMEMS广泛应用于国防行业中的微机电系统、舵机系统、传感器系统、制导系统等。
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MEMS材料与工艺手册
（美）格迪斯，（美）林斌彦著2014 年出版966 页ISBN：9787564140533微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经...
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引信用MEMS开关设计方法
刘双杰，郝永平著2018 年出版135 页ISBN：9787118116564本书主要研究了MEMS开关的多物理场及耦合现象，针对不同的需求设计了三种MEMS开关模型，介绍了多弹性支撑环形分布式MEMS万向惯性开关的加工工艺流程，研究了开关的检测技术，设计了一种冲击台试验该冲击台能够通过...
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CMOS MEMS技术与应用
（美）O. Brand ，（美）G. K. Fedder著；黄庆安，秦明译2007 年出版500 页ISBN：7564107847本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用，包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其电路或系统的集成化技术，CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器和RF器件及系统中的...
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MEMS集成设计技术及应用
苑伟政，谢建兵，焦文龙著2014 年出版294 页ISBN：9787118095838全书共分六章，第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状，第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术，第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术，第四章介绍微米纳米力学量测试技术，第五章介绍...
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高动态微系统与MEMS引信技术 下
娄文忠著2016 年出版270 页ISBN：7118108316本书主要内容有：微系统基础介绍；微系统集成及其关键技术；高动态微系统；高动态微系统结构设计体系；微型引信技术及MEMS引信；固态微引信；固态微引信核心器件；引信固态安全与保险控制核心芯片；MEMS固态开关组技术......