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微机械光子学英文本

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H.Ukita编著11 年出版250 页ISBN：7030182405
光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。本书系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结果，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等...