氮化铝

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  氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例

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  赵祥敏，赵文海著2015 年出版132 页ISBN：9787502469177

  本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌（ZnO）薄膜、氮化铝（AlN）薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章，主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用，ZnO和AlN薄膜的常用制备方...

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  氮化铝陶瓷

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  李小雷著2010 年出版233 页ISBN：9787502451257