基片

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  衬底基片超精密加工技术

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  周海编著2014 年出版175 页ISBN：9787030392817

  本书在介绍材料的性能和用途的基础上，分析材料的主要生长技术，重点阐述材料衬底基片的切割、磨削、研磨、抛光等超精密加工工程中的工艺、设备、辅料。介绍LED行业对衬底基片的净化要求、净化工艺、净化设备...