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本书首先对CVD金刚石薄膜性质及应用进行概述,然后对热丝化学气相法沉积金刚石薄膜的形核、生长过程及规律进行系统地研究分析,并对沉积过程中气相化学进行诊断分析,讨论添加辅助气体对气相活性基团的影响以及...