微米

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  国际制造业先进技术译丛 微米加工与纳米制造

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  （美）马克J.杰克逊（MARKJ.JACKSON）主编；缪旻，李振松译；郝一龙，金玉丰审2016 年出版375 页ISBN：9787111514824

  本书是微米/纳米加工技术方面的一本优秀著作，既有一定的理论深度，又有足够的广度，而且还有较高的可读性。它较为系统地梳理了微米加工（特别是非硅基加工）技术以及纳米加工手段，结合微流体、微惯性器件、纳米传感...