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谐振器
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多层膜集成结构体声波谐振器 英文版
张亚非,陈达著2012 年出版152 页ISBN:9787313087362本书系统地阐述了薄膜体声波谐振器的基本原理、设计方法、关键技术及其材料体系的要求,并对薄膜体声波谐振器的重要应用技术进行了总结概括与深入分析。...
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薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用
张亚非,陈达著2011 年出版174 页ISBN:9787313065162本书详细介绍了FBAR谐振器模型所需的基本理论、设计原则、制备技术和应用方法等,包括薄膜体声波谐振器的理论模型、压电薄膜的制备方法、AlN薄膜的溅射沉积和刻蚀、横膈膜型薄膜体声波谐振器、固体装配型体...