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目录 1

译序 1

常用符号 1

第一章 绪论 1

1.1 真空 1

1.1.1　人工真空 1

1.1.2 自然真空 4

1.2　应用范围及重要性 6

1.2.1　真空技术的应用 6

1.2.2　真空技术的重要性 9

1.3　真空技术发展史的主要阶段 10

1.4　文献来源 12

1.4.1　书籍 12

1.4.2　刊物 14

1.4.3　会议汇刊 15

第二章 真空技术的稀薄气体理论 17

2.1　物质的物理态 17

2.2　理想气体定律和真实气体定律 22

2.2.1　玻义耳定律 22

2.2.2　查理定律 24

2.2.3　一般气体定律 24

2.2.4　分子密度 27

2.2.5　真实气体的物态方程 28

2.3　稀薄气体中的分子运动 30

2.3.1　分子的动能 30

2.3.2　分子的速度 31

2.3.3　分子入射率 33

2.4.1　平均自由程 34

2.4　压强和平均自由程 34

2.4.2　压强单位 37

2.5　粘滞态中的迁移现象 40

2.5.1　气体的粘滞性 40

2.5.2　气体的扩散 42

2.6　分子态中的迁移现象 45

2.6.1　粘滞态和分子态 45

2.6.2　分子曳力 46

2.7　热扩散和能量迁移 48

2.7.1　热流逸 48

2.7.2　热扩散 49

2.7.3　稀薄气体的热导率 50

3.1.1　流动方式 56

3.1 流动方式、流导和流量 56

第三章　低压下的气流 56

3.1.2　流导 58

3.1.3　流量和抽速 60

3.2　粘滞流和湍流 63

3.2.1　粘滞流—孔的流导 63

3.2.2　粘滞流—圆柱管的流导 66

3.2.3　粘滞流—表面滑移 69

3.2.4　粘滞流—矩形截面 69

3.2.5　粘滞流—环形截面 71

3.2.6　湍流 71

3.3　分子流 72

3.3.1　分子流—孔的流导 72

3.3.2　分子流—隔板的流导 73

3.3.3　分子流—恒定截面的长管 74

3.3.4　分子流—恒定截面的短管 77

3.4　组合型容器的流导 80

3.4.1　分子流—锥形管 80

3.4.2　分子流—弯管 82

3.4.3　分子流—阱 83

3.4.4　分子流—闭光障板 87

3.4.5　分子流—密封界面 90

3.5　流导的解析——统计计算 93

3.6　过渡流 100

3.6.1　克努曾方程 100

3.6.2　最小流导 101

3.6.3　过渡压强 102

3.6.4　过渡区的界限 103

3.6.5　一般气流方程 104

3.6.6　分子流—粘滞流交点 105

3.6.7　气流的积分方程 107

3.7　真空系统计算 111

3.7.1　真空系统中的气体源 111

3.7.2　粘滞流范围内的抽气 112

3.7.3　分子流范围内的抽气 115

3.7.4　具有分布气体负载的稳定态 118

3.7.5　流导和抽气时间的列线图解计算 120

3.7.6　气体负载的计算和抽气要求 125

第四章 真空技术中的物理化学现象 135

4.1　蒸发——凝结 135

4.1.1　真空系统中的蒸汽 135

4.1.2　蒸汽压和蒸发率 136

4.1.3　蒸汽压数据 142

4.1.4　低温抽气和真空镀膜 146

4.2　溶解和渗透 149

4.2.1　渗透过程 149

4.2.2　气体对真空外壳的渗透 153

4.2.3　渗透的结果 154

4.3　吸着 157

4.3.1　吸着现象 157

4.3.2　吸附能 158

4.3.3　单分子层和粘附系数 159

4.3.4　吸附等温线 163

4.3.5　真表面 163

4.3.6　用吸收剂的气体吸着 164

4.4.2　出气 169

4.4.1　解吸现象 169

4.4 解吸——出气 169

4.4.3　出气率 172

4.5 电子和离子与表面的相互作用 174

4.5.1　电子散射 174

4.5.2　离子散射 176

4.5.3　低能电子衍射（LEED） 177

4.5.4　俄歇电子能谱学（AES） 179

第五章 低压强的产生 182

5.1　真空泵 182

5.1.1　抽气原理 182

5.1.2　参数和分类 182

5.2　机械泵 185

5.2.1　液体泵 185

5.2.2　活塞泵 186

5.2.3　水环泵 187

5.2.4　旋片泵 187

5.2.5　滑片泵 192

5.2.6　旋转柱塞泵 194

5.2.7　罗茨泵 195

5.2.8　分子泵 196

5.3　蒸汽泵 198

5.3.1　分类 198

5.3.2　蒸汽喷射泵 199

5.3.3　扩散泵 200

5.4　离子泵 205

5.4.1　分类 205

5.4.2　离子抽气 206

5.4.3　蒸发离子泵 209

5.4.4　溅散离子泵 215

5.5　吸附泵 219

5.5.1　吸附抽气的特性 219

5.5.2　吸附泵 221

5.5.3　多级吸附抽气 222

5.6　低温抽气 224

5.6.1　低温抽气的机理 224

5.6.2　低温抽气阵列 230

5.6.3　低温捕集 232

5.6.4　低温泵 234

5.6.5　液氮阱 234

5.7　吸气 237

5.7.1　吸气原理 237

5.7.2　闪时吸气剂 238

5.7.3　容积吸气剂和敷层吸气剂 242

5.7.4　吸气能力 243

5.7.5　升华泵 244

5.8　稀释抽气 245

5.9　抽速的测量 246

5.9.1　测量方法 246

5.9.2　定压法 246

5.9.3　定容法 250

5.9.4　机械泵和扩散泵抽速的测量 250

5.9.5　溅射离子泵抽速的测量 251

第六章　低压强的测量 253

6.1 真空计的分类和选择 253

6.2.1　波登真空计 255

6.2　机械真空计 255

6.2.2　膜盒式真空计 256

6.3　使用液体的真空计 258

6.3.1　U形管流体压力计 258

6.3.2　斜管流体压力计 259

6.3.3　差动流体压力计 260

6.3.4　杜布罗温真空计 260

6.3.5　麦氏真空计 262

6.4　粘滞（分子）真空计 269

6.4.1　原理 269

6.4.2　衰减真空计 270

6.4.3　旋转分子真空计 270

6.4.4　谐振式粘滞真空计 271

6.5　辐射计（克努曾真空计） 272

6.6.1　热导率和热损耗 275

6.6　热导真空计 275

6.6.2　皮氏计 276

6.6.3　热偶真空计 278

6.6.4　热敏电阻真空计 280

6.6.5　麦氏-皮氏组合真空计 280

6.7　电离真空计 281

6.7.1　放电管 281

6.7.2　热阴极电离真空计 282

6.7.3　冷阴极电离真空计 292

6.7.4　装有放射源的真空计 294

6.8　真空计的校准 295

6.8.1　概述 295

6.8.2　麦氏计法 296

6.8.3　膨胀法 296

6.8.4　流量法 297

6.8.5　排气法 298

6.9　分压强测量 298

6.9.1　概述 298

6.9.2　磁偏转质谱仪 299

6.9.3　余摆线型（摆线型）质谱议 301

6.9.4　回旋质谱仪 302

6.9.5　线振质谱仪 304

6.9.6　四极质谱仪和单极质谱仪 305

6.9.7　飞时质谱仪 305

第七章 高真空技术 307

7.1　选择材料的准则 307

7.1.1　概述 307

7.1.2　机械强度 307

7.1.6　金属容器和管道 308

7.1.5　工作条件 308

7.1.3　透气性 308

7.1.4　蒸汽压和气体释放 308

7.1.7　玻璃容器和管道 310

7.1.8　弹性材料和塑料管道 311

7.2　清洗技术 313

7.2.1　金属清洗 313

7.2.2　玻璃清洗 318

7.2.3　陶瓷清洗 320

7.2.4　橡胶的清洗 320

7.2.5　烘烤 320

7.3　密封技术 320

7.3.1　概述、分类 320

7.3.2　永久密封 321

7.3.3　半永久可拆密封 347

7.3.4　垫圈密封 365

7.3.5　电引入线 388

7.3.6　运动传送 392

7.3.7　真空系统中的物质传递 397

7.4　检漏 406

7.4.1　漏率和检测 406

7.4.2　泄漏测量 412

7.4.3　漏孔检测 416

7.4.4　密封部件测试 417

7.4.5　灵敏检漏法 418

7.5　真空系统操作规则 425

参考文献 427