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目录 1

绪论 1

一、传感器在国民经济中的地位 1

二、传感器的发展方向 2

三、数字传感器是时代的产物 3

四、数字传感器的定义、分类及特点 4

五、数字传感器的结构 5

六、本书主要内容 7

第一章 角度数字编码器 8

§1.1增量式角度数字编码器 9

一、工作原理 9

二、辨向电路 10

三、几种常用的增量式角度数字编码器 11

§1.2绝对式角度数字编码器 13

一、接触式角度数字编码器 13

二、光电式角度数字编码器 18

三、几种常用的绝对式角度数字编码器 20

§1.3增量式绝对化的措施 20

一、停电记忆装置的选择 21

二、磁记忆装置的工作原理 22

三、磁记忆装置在数字显示器中的应用 24

第二章 光栅与电子细分 25

§2.1概述 25

一、光栅式测量的基本原理 25

二、莫尔条纹的转换特点 29

三、光栅式测量装置、光栅光学系统、光栅读数头 31

四、光栅式测量的特点及应用现状 34

§2.2莫尔条纹的形成原理 36

一、长光栅莫尔条纹方程 37

二、圆光栅莫尔条纹方程 42

§2.3光栅光学系统 53

一、直接接收式光学系统 54

二、分光式光学系统 57

三、影像式光学系统 62

四、四细分光学系统 65

五、相位调制型光学系统 67

§2.4电子细分 73

一、幅度调制信号细分 75

二、相位调制信号细分 115

三、用单片微机进行电子细分 130

第三章 感应同步器 139

§3.1感应同步器的结构、种类和工作原理 139

一、感应同步器的结构和种类 139

二、感应同步器的工作原理 143

三、电气参数 150

四、输出电动势 151

§3.2感应同步器的安装和调整 154

一、旋转式感应同步器的安装和调整 154

二、直线式感应同步器的安装和调整 162

§3.3感应同步器的运行方式 175

一、分段绕组激磁 176

二、连续绕组激磁 183

§3.4数字位置测量系统 192

一、概述 192

二、鉴幅型数字位移测量系统 196

三、鉴相型数字位移测量系统 200

四、三通道测角系统 205

第四章 磁栅 209

§4.1概述 209

§4.2磁栅的基本原理 211

一、磁栅的构造 211

二、对磁尺的要求 213

§4.3磁栅的刻制 214

一、圆型磁栅的刻制 215

二、直线型磁栅的刻制 217

§4.4磁头 222

一、动态磁头 222

二、静态磁头 223

§4.5磁栅——数字显示检测装置 225

一、鉴幅型磁尺—数字显示长度检测装置 225

二、鉴相型磁尺—数字显示长度检测装置 228

二、石英的一般性质 233

三、单磁头磁尺—数字显示角度检测装置 234

四、双磁头磁尺—数字显示角度检测装置 236

第五章 石英谐振传感器 240

§5.1概述 240

一、石英谐振传感器的重要作用 240

二、石英、石英谐振器及石英谐振传感器 241

§5.2石英晶体的基本知识 241

一、石英晶体的结晶形态和坐标系 242

§5.3石英晶片的机械振动 246

一、应力与应变 247

二、压电效应和逆压电效应 249

三、石英晶片的切型 251

四、石英晶片的机械振动 253

§5.4石英谐振器的特性 259

一、石英谐振器的等效电路和等效参数 260

二、石英谐振器的频率温度特性 263

三、石英谐振器的老化特性 266

§5.5晶体振荡器 267

一、晶体振荡器的基本电路 268

二、普通晶体振荡器 272

三、温度补偿晶体振荡器 274

§5.6石英谐振传感器 280

一、石英谐振压力传感器 280

二、石英谐振温度传感器 287

三、石英谐振压力温度传感器 289

四、石英谐振厚度传感器 293

§5.7电抗牵引石英谐振传感器 297

一、石英谐振器的频率牵引 297

二、电抗牵引石英谐振传感器 302

参考文献 309