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绪论 1

（一）传感器的基本特性 1

目录 1

（二）传感器的种类 3

（三）传感器的应用 5

（四）传感器的发展趋势 6

一、力敏传感器 9

（一）压力传感器 9

（二）半导体应变传感器 14

（三）转矩传感器 16

（四）旋转传感器 20

（五）振动加速度传感器 23

（六）位置和位移传感器 27

二、声传感器 32

（一）压电式声传感器 32

（三）超声传感器 34

（二）静电扬声器 34

（四）音响传感器 35

（五）频率式传感器 41

三、热敏传感器 47

（一）半导体热敏电阻 47

（二）晶体管温度传感器 51

（三）晶闸管热敏开关 52

（四）热释电型红外线传感器 54

（五）石英热敏传感器 58

（六）声表面波（SAW）温度传感器 60

（七）多功能热敏传感器 61

（八）集成电路温度传感器 66

四、气敏传感器 73

（一）半导体气敏传感器 73

（二）电化学式气敏传感器 78

（三）红外线气敏传感器 79

（四）固体电解质氧气传感器 81

（五）电阻式传感器 83

（六）MOS场效应晶体管传感器 84

五、湿敏传感器 85

（一）半导体陶瓷湿度传感器 85

（二）电解质湿敏传感器 88

（三）高分子湿度传感器 89

（四）羟乙基纤维素-炭湿敏传感器 93

（五）醋酸纤维有机膜湿敏元件 94

（六）涂覆膜型Fe3O4湿敏传感器 95

（七）压电晶体湿敏传感器 96

（八）极限电流式氧传感器 98

（九）硒蒸发膜湿度传感器 100

（十）多孔氧化铝湿度传感器 101

（十一）磁胶体湿度传感器 102

六、磁敏传感器 103

（一）半导体霍尔元件 103

（二）半导体磁阻元件 110

（三）磁敏二极管 114

（四）铁磁性金属薄膜磁阻元件 117

（五）快速磁场传感器 120

（六）文哥得磁敏元件 121

七、光敏传感器 123

（一）光电管与光电倍增管 123

（二）光电导传感器 124

（三）光敏二极管 130

（四）PIN结光敏二极管（PIN-PD） 134

（五）雪崩式光敏二极管（APD） 135

（六）光敏三极管 136

（七）复合光敏器件 138

（八）红外光敏元件 147

（九）光电式浓度传感器 154

八、光色传感器 158

（一）半导体光色传感器 158

（二）CCD图像传感器 159

（三）精密光敏传感器（PLS） 160

（四）集成全色传感器 160

（五）半导体光电池 161

（六）电荷注入器件（CID）成像器 163

九、光纤传感器 168

（一）光纤传感器的构成与检测方法 168

（二）传输型位移传感器 175

（三）光纤多普勒流量传感器 175

（四）光纤温度传感器 177

（五）差压-压力光纤传感器 177

（六）光纤电流传感器 178

（七）光纤磁场传感器 179

十、微波传感器 182

（一）微波湿度（水分）传感器 182

（二）微波多普勒传感器 183

（三）微波温度传感器 184

（四）微波测距与定位传感器 185

（五）活体介质特性测定系统 186

十一、液晶传感器 188

（一）液晶显示器件 188

（二）液晶电磁场传感器 188

（三）液晶加速度传感器 189

（四）液晶电压传感器 189

（五）液晶超声波传感器 189

（六）液晶激光传感器 190

（七）液晶温度传感器 190

十二、超导体传感器 193

（一）超导微波传感器 193

（三）超导红外和远红外传感器 193

（三）超导可见光传感器 194

（四）超导磁场传感器 195

（五）高灵敏度磁通传感器 197

（六）超导图象传感器 198

十三、非晶态合金传感器 203

（一）磁场传感器 203

（二）电流传感器 204

（三）应变传感器 204

（四）声波传感器 204

（五）热敏传感器 205

（六）温度传感器 206

（七）非晶态硅色彩传感器 206

十四、化学传感器 210

（一）离子敏感场效应晶体管传感器 210

（二）电化学传感器 213

十五、生物传感器 218

（一）微生物传感器 218

（二）生物化学耗氧量（BOD）传感器 219

（三）离子敏感场效应管生物传感器 220

（四）甲酸传感器 221

（五）醋酸传感器 222

（六）氨传感器 223

（七）谷氨酸传感器 223

（八）研究方向 224

十六、智能传感器 227

（一）型智能式压力传感器 227

（二）智能式差压-压力传感器 228

（三）智能式温度传感器 229

（四）超声波流量传感器 230

（五）智能传感器发展趋势 231

十七、传感器的功能材料 234

（一）半导体材料 234

（二）陶瓷材料 234

（三）高分子材料 234

（四）形状记忆合金 241

（五）聚偏氟乙烯 241

参考文献 241