接触式干涉仪原理与使用PDF电子书下载

绪言 1

第一章 接触式干涉仪的外型、结构和工作原理 3

一、外型结构 3

二、仪器的工作原理 9

第二章 仪器使用前的预调和工作台的应用 20

一、仪器干涉带的寻找和调整 20

二、仪器的定度和读数 21

三、仪器干涉头的结构 25

四、仪器所附工作台种类和选用说明 28

1.分度值误差对测量精度的影响 32

一、仪器误差的产生原因 32

第三章 仪器误差及其检定方法 32

2.在检定仪器时，基准量块引入的误差 37

3.估读误差 37

4.仪器示值不稳定性对测量精度的影响 38

5.干涉光管的示值最大不准确度 38

二、仪器的测量方法误差 39

1.作为基准用-等量块带来的误差 40

2.温度误差 40

3.测量轴轴线与工作台不垂直度对测量精度的影响 41

三、仪器示值误差的检定方法 43

四、接触式干涉仪单色滤光片的检定 46

1.利用钠光灯波长作标准，在被检的接触式干涉仪上检定滤光片波长 47

2.利用1等量块作标准在柯氏干涉仪上检定单色滤光片的波长 49

第四章 接触式干涉仪在计量测试中的应用 54

一、量块的检定 54

1.检定前的技术要求和准备工作 54

2.量块的检定 72

二、接触式干涉仪在精密测试中的应用 76

1.测帽的选择 76

2.测帽和砧座之间平行度的调整 77

3.标准量块的选用和组合 80

4.零件的精密测试 82

三、接触式干涉仪用于微小尺寸的绝对测量 100

一、与测长机结合测量大量块和高精度校对杆 104

第五章 扩大仪器使用范围，改装，组合接触式干涉仪的实用方法 104

二、与象点比较仪结合提高孔径的测量精度 105

三、与万能测长仪组合测量孔径 107

1.组合方法 107

2.测量结果误差的分析 110

四、用接触式干涉仪改装为非接触式孔径干涉比较仪测量高精度孔径、深孔、盲孔的方法 115

1.测量原理 116

2.仪器的改装 120

3.测量精度 124

五、组合小角度发生器 125

参考文献 126