半导体材料和高纯金属的分析PDF电子书下载

第一章 高纯硅及其化合物的分析 1

§1-1三氯氢硅中痕量杂质的化学光谱测定 1

目 录 1

§1-2纯硅和二氧化硅中微量杂质的化学光谱测定 4

§1-3高纯硅、二氧化硅、石英、四氯化硅、三氯硅烷中 6

痕量杂质的化学光谱测定 6

§1-4三氯硅烷中痕量镉、铟、铅、铜、铋的汞齐极谱 10

测定 10

测定（Ⅰ） 11

§1-5三氯硅烷和四氯化硅中痕量硼的化学光谱 11

§1-6三氯硅烷中痕量硼的化学光谱测定（Ⅱ） 14

§1-7三氯硅烷含量的测定 17

第二章 高纯镓、砷及其化合物的分析 20

§2-1高纯镓中痕量杂质的化学光谱测定 20

§2-2高纯镓中痕量铁的分光光度测定 23

§2-3高纯镓中痕量金的比色测定 25

§2-4高纯镓、砷和砷化镓中痕量硅的比色测定 26

§2-5高纯镓中碲的方波极谱测定 28

§2-6高纯镓中痕量铊和金的化学光谱测定 30

§2-7高纯砷及其化合物中痕量杂质的化学光谱测定 31

§2-8高纯砷中微量硫的测定 34

§2-9三氯化砷中硫的测定 36

§2-10砷中碲的方波极谱测定 37

§2-11高纯砷中钾、钠的火焰光度测定 38

§2-12高纯砷和氧化砷中痕量锡的化学光谱测定 39

§2-13高纯砷中痕量锑的比色测定 42

§2-14砷中硒的示波极谱测定 43

§2-15砷化镓中痕量锂的火焰光度测定 44

§2-16砷化镓中痕量杂质的化学光谱测定 46

§2-17砷化镓中碲的方波极谱测定 48

第三章 高纯锗及其化合物的分析 50

§3-1 四氯化锗中痕量硼的化学光谱测定 50

§3-2 四氯化锗中痕量硅的分光光度测定 53

§3-3二氧化锗和四氯化锗中痕量砷的化学光谱测定 54

§3-4二氧化锗中痕量杂质的化学光谱测定 57

§3-5二氧化锗中痕量硼的化学光谱测定 61

§3-6二氧化锗中微量硼的比色测定 64

Ⅰ．目视比色法 65

§3-7二氧化锗中微量硅的测定 65

Ⅱ．萃取光度法 66

§3-8锗及二氧化锗中痕量锑的测定 68

§3-9二氧化锗中痕量钠的测定 71

§3-10二氧化锗中痕量砷的测定 72

第四章高纯镉、铼及其化合物的分析 75

§4-1高纯镉中杂质的真空蒸发化学光谱测定 75

§4-2 高纯镉中痕量硅的分光光度测定 78

§4-3高纯硫化镉中痕量硅的分光光度测定 79

§4-4高纯硫化镉中杂质的化学光谱测定 80

§4-5金属铼中十二个痕量杂质的化学光谱测定 82

§4-6高纯铼及铼酸铵中微量钾、钠、钙的火焰分光光度 84

测定 84

第五章 高纯铼、铟、锑、磷、镍、汞、钴、硫的分析 86

§5-1高纯铼、铟、锑、磷、镍中痕量硅的分光光度测定 86

§5-2高纯铟中痕量锑、镓、铊、金、铁的化学光谱测定 90

§5-3高纯铟中痕量杂质的化学光谱测定 93

§5-4纯汞中微量杂质的光谱测定 95

§5-5纯汞中微量硅的分光光度测定 97

Ⅰ．钙、镁、铝的测定 99

§5-6纯金属钴的分析 99

Ⅱ．镍的测定 101

§5-7纯金属钴中钛的比色测定 103

§5-8高纯磷中痕量杂质的化学光谱测定 104

§5-9高纯硫中痕量硅的分光光度测定 107

§5-10高纯三氯化锑和金属锑中十六个痕量杂质的化学光谱测定 108

附录1 高纯石墨的分析 110

Ⅰ．高纯石墨中微量杂质的化学光谱测定 110

Ⅱ．高纯石墨中痕量硼的光谱测定 113

Ⅲ．高纯石墨中痕量硼的化学光谱测定 114

Ⅰ．7水 117

附录2几种试剂的提纯 117

Ⅱ．盐酸 118

Ⅲ．硝酸 119

Ⅳ．氢氟酸 119

Ⅴ．氢溴酸 120

Ⅵ．高氯酸 121

Ⅶ．氢氧化铵 121

Ⅷ．溴 122

Ⅸ．异丙醚 123