双频激光干涉仪PDF电子书下载

第一章 引言 1

1-1 双频激光干涉仪的特点及其经济价值 1

1-2 双频激光干涉仪在国内外的发展简况 4

第二章 双频激光干涉仪的物理基础 6

2-1 光的干涉 6

一 波与干涉 6

二 两个频率相差很小的波的干涉--拍 8

三 相干光的获得 9

2-2 迈克尔逊干涉仪 12

2-3 相干长度和时间相干性 14

2-4 光的偏振 16

一 自然光和偏振光 16

二 光在反射和折射中的偏振现象 17

三 双折射现象与偏振器 17

四 波片和椭圆偏振光 21

五 偏振光的干涉 23

2-5 多普勒效应 25

2-6 双频激光干涉仪的工作原理 28

一 原理图 28

二 参考信号的产生 30

三 测量信号的获得 31

第三章 仪器的光学系统 35

3-1 光源--双频氦氖激光器 35

一 塞曼双频氦氖激光器的工作原理 35

二 塞曼双频氦氖激光器的设计与制造 45

三 其他形式的双频氦氖激光器 84

3-2 激光的高斯光束传播和扩束准直 92

一 激光束的高斯分布 92

二 高斯光束的干涉 97

三 高斯光束的扩束准直 100

3-3 偏振分光棱镜 105

一 偏振分光镜的分光原理 105

二 偏振分光镜的设计 106

三 偏振分光镜膜层的镀制及性能测试 108

四 偏振分光镜的胶合 110

3-4 角锥棱镜 111

一 角锥棱镜的术语定义及光路 111

二 角锥棱镜的一些反射特性 113

三 角锥棱镜的加工误差对反射性能的影响 115

四 角锥棱镜的几何尺寸 121

五 角锥棱镜对偏振光的影响 126

3-5 光路布局 127

一 误差分布公式和“空程误差” 128

二 几种布局和特点 132

3-6 倍频和相位细分 135

一 一般的光学倍频技术 135

二 双频激光干涉仪中的倍频光路 136

三 光学相位细分技术 137

第四章 仪器的电子线路 143

4-1 电子线路方块图 143

4-2 稳频器 144

一 稳频的必要性 144

二 稳频器的工作原理 144

三 稳频器电路 153

四 稳频器电路的一些改进 161

4-3 光电转换及放大整形电路 167

一 光电转换及放大整形电路之一 168

二 光电转换及放大电路之二 171

4-4 专用电子计算器 171

一 减法器 172

二 倍频器 185

三 乘法器 195

四 可逆计数器 217

五 显示值稳定电路 240

4-5 氦氖激光器的供电 243

第五章 安装、调整、鉴定及误差分析 246

5-1 安装 246

一 安装的原则 246

二 测量轴线的选择 246

三 减少空程误差 248

四 减少所用的光学元件的数目 249

五 减少空气扰动的影响 250

六 保护激光束及光学元件的措施 251

5-2 调整 253

一 调整的目的 253

二 调整的原则 255

三 调整的方法 257

5-3 鉴定 263

一 鉴定的环境及必备的测试仪器 263

二 鉴定项目、要求与方法 264

三 现场鉴定实例 264

5-4 测试误差的分析 267

一 一般测量仪器精度的分析方法 268

二 双频激光干涉仪的精度分析 269

三 双频激光干涉仪测长误差分析实例 269

第六章 双频激光干涉仪的应用 277

6-1 空气折射率的修正 277

一 空气折射率的间接测量及波长修正 278

二 空气折射率干涉仪 280

6-2 测量角度和平面度 283

一 角度测量 283

二 平面度测量 285

三 测量范围和精度 286

6-3 测量机床直线度 287

一 测量原理 287

二 平行度的测量 289

三 垂直度(直角度)的测量 290

6-4 测量机械振动 292

一 测量原理 292

二 振幅测量的电路原理 293

三 振动频率测量的电路原理 295

四 振动周期测量的电路原理 296

6-5 定位 296

一 机床定位 297

二 用于光栅刻划 299

三 用于x-y精密定位台 301

6-6 多路双频激光干涉仪与带双频激光干涉仪的三坐标测量机 303

一 多路测量 303

二 三坐标测量机 306

6-7 其他应用 307

附录1 HP5526A和SORO METRILAS M100型双频激光干涉仪的资料 309

附录2 国内几种双频激光干涉仪(测长机)的资料 314

附录3 不同条件下的？和？数值表 323