精密测试技术PDF电子书下载

第一章 测量误差和数据处理 1

1--1 测量误差的概念和分类 1

一、测量误差的基本概念 1

二、测量误差的类型及其规律性 1

1--2 测量误差的来源及其处理 3

一、偶然误差 8

二、系统误差 11

三、过失误差的剔除 16

1--3 测量结果的数据处理 17

一、等精度测量的结果处理 17

二、不等精度测量的结果处理 25

三、测量结果的有效数字处理 29

第二章 电动测量 30

2--1 传感器的基本类型及其基本测量电路 30

一、电感式传感器及其基本测量电路 31

二、电容式传感器及其基本测量电路 36

三、差动变压器式传感器及其基本测量电路 41

2--2 电动测微仪 46

一、概述 46

二、基本结构及各部分的作用 46

三、电气原理图 48

四、外现与主要技术规格 50

2--3 感应同步器 52

一、感应同步器的结构和特点 52

二、感应同步器的工作原理和位移测量系统简介 53

第三章 气动测量 60

3--1 气动测量原理和气动量仪 60

一、气动测量原理和气动量仪种类 60

二、指示压力的气动量仪 61

三、指示流量的气动量仪--浮标式气动量仪 64

3--2 气动测量的静特性 67

一、喷嘴挡板机构的形成 68

二、平行喷嘴挡板机构的静特性 68

三、不平行喷嘴挡板的静特性 69

四、喷嘴挡板的压力分布 73

3--3 气动测量头的应用及设计 74

一、气动测量头的应用 75

二、气动测量头设计中的名词及术语 77

三、气动测量头设计原则 77

四、校对规的设计 81

五、测量头的设计步骤 81

3--4 气动测量在自动测量中的应用 83

一、磨削过程中的自动测量 83

二、珩磨时的自动测量 85

三、自动线上的气动测量装置 86

第四章 光学测量 90

4--1 计量光栅的原理和特点 90

一、莫尔条纹形成原理 90

二、莫尔条纹测量位移的原理及特点 95

一、光栅读数头 101

4--2 光栅读数头及其在计量中的应用 101

二、莫尔条纹讯号的计数和细分 108

三、在精密计量中的应用 111

4--3 激光的产生及其特点 116

一、激光的产生 116

二、激光的模及其频率特性 126

三、激光的特点 133

一、干涉测长原理 137

4--4 激光在精密计量中的应用 137

二、激光比长仪 142

三、激光丝杠动态测量仪 148

附录一 光栅衍射 156

附录二 细分方案表 161

附录三 双频激光干涉仪与机床平直度检验 161

一、双频激光干涉原理和特点 161

二、激光导轨平直度干涉仪 166

附表一 概率函数积分值(正态分布曲线) 169

附表二 各种测量工具的极限误差 170