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国外洁净技术
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环境安全

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  • 作 者:中国科学技术情报研究所编辑
  • 出 版 社:北京:科学技术文献出版社
  • 出版年份:1974
  • ISBN:
  • 页数:110 页
图书介绍:
《国外洁净技术》目录

目录 1

1.洁净工艺及其在国外的发展概况 1

2.洁净室和局部净化设备的设计及其措施 7

3.三菱空气净化装置 32

4.富士通洁净工作台及其应用 48

5.日立无尘无菌装置 56

6.空气净化装置自动运转的控制 64

7.微小尘埃自动计数装置 72

8.微电子器件厂的净化问题 76

9.超洁室的颗粒浓度 81

10.半导体工业里的环境管理 87

11.净化室过滤器的特性——法国国家应用化学 91

研究所的测试设备 91

12.英联邦的净化室技术 100

13.南伦敦电子设备公司净化设备及清洁室 105

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