光栅计量技术PDF电子书下载

前言 1

第一章 什么是计量光栅 1

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第二章 光栅的莫尔条纹 4

1. 莫尔条纹 4

2. 长光栅的莫尔条纹 4

3. 圆光栅的莫尔条纹 7

4. 光栅的编码 10

5. 光栅的误差 12

6. 光栅的参数 13

1. 光栅测量方案 15

第三章 光栅测量的原理 15

2. 莫尔条纹测量 17

3. 光栅信号的光电特性 19

4. 光栅信号的光电计数 21

5. 光电信号的反差 24

第四章 光栅测量的特点 33

1. 位移的放大作用 33

2. 误差的平均效应 33

3. 运动的对应关系 34

4. 易于实现自动控制和自动测量 34

1. 光栅细分的目的 35

第五章 光栅的电子细分 35

2. 光栅细分的原理 36

3. 光栅细分的方法 36

4. 零位法 39

5. 四倍频 40

6. 移相电阻链法 45

7. 电子细分对光栅信号的要求 48

第六章 光栅读数头 50

1. 组成 50

2. 分类 51

3. 形式 52

4. 几个问题 59

第七章 光栅在精密计量中的应用 66

1. 数字式万能比长仪 66

2. 数字式光栅分度头 69

3. 数字式万能工具显微镜 76

4. 齿轮单面啮合检查仪 83

第八章 光栅在坐标检测中的应用 88

1. 光栅数显表 88

2. 三坐标测量机 91

第九章 光栅刻制技术 96

1. 机械刻划法 96

2. 投影光刻法 102