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第一章 表面研究的历史 1

1.1 引言 1

1.2 固体表面的研究方法及其原理 2

1.3 超高真空技术的发展和表面研究 5

1.4 半导体表面的研究 6

文献 8

第二章 表面结构及其分析方法 9

2.1 引言 9

2.2 二维结晶学 9

A．平移对称和点对称 9

B．二维格子的衍射和倒易格子 16

A．衍射理论和倒易格子空间 21

2.3 二维衍射理论 21

B．电子束衍射的多次散射效应 28

2.4 利用电子衍射的表面结构测定法 31

A．低能电子衍射（LEED） 31

B．反射式高能电子衍射（RHEED） 39

2.5 用场离子显微镜观察表面结构 41

文献 50

第三章 固体表面的电子和离子发射 52

3.1 引言 52

3.2 用离子轰击的方法发射离子或中性原子 52

A．一次离子的散射 54

B．溅射 59

A．光电子发射 68

3.3 电子发射现象 68

B．俄歇电子发射 73

C．电子的能量损失过程 75

3.4 由强电场作用的表面的电子或离子发射 79

A．场电子发射 79

B．场电离及场蒸发 82

文献 87

第四章 固体表面的组成和分析方法 90

4.1 引言 90

4.2 电子能谱分析方法 90

A．电子能量分析器 90

B．光电子能谱法 95

C．俄歇电子能谱法 100

4.3 利用离子的表面分析法 105

A．利用一次离子散射的表面分析法 105

B．二次离子质谱法 108

C．利用原子探针的表面分析法 110

4.4 表面分析方法的特征和组合化 113

A．μAES-IMA 113

B．SIMS-AES 115

C．XPS-SIMS-AES 115

D．LEED-ISS 115

文献 116

B．表面能量和表面张力 117

A．表面热力学函数 117

5.1 表面热力学 117

第五章 表面热力学和表面扩散 117

C．表面自由能的温度依存性 119

D．多元系的表面张力 120

5.2 表面能量的评价和决定方法 122

A．根据键能进行评价 122

B．表面能量的量子力学的考察 125

C．固体表面的自由能和晶格缺陷 126

D．高指数面的表面能 128

E．弯曲表面上的表面张力和蒸气压 131

F．表面张力的决定方法 132

A．表面扩散活化能 136

5.3 表面扩散 136

B．一维无规行走运动 137

C．二维无规行走运动与表面扩散的原子论 142

D．多原子的表面扩散 148

E．表面扩散的现象论 150

文献 155

第六章 固体表面的电子状态 157

6.1 引言 157

6.2 表面能级的理论 158

A．理论的变迁 158

B．一维模型近似理论 159

C．半经典理论 170

A．引言 175

6.3 功函数理论 175

B．金属功函数的简单理论 176

C．功函数理论 177

6.4 固体表面能级和功函数的实际情况 186

A．金属及半导体的功函数 186

B．表面能级二、三例 189

文献 196

第七章 半导体表面的电子现象 198

7.1 引言 198

7.2 半导体表面内部的空间电荷层 198

A．由表面势而产生的空间电荷 198

B．表面内部的空间电荷分布 200

C．表面空间电荷量 207

D．表面载流子的量子化 210

7.3 空间电荷层内的表面电导 213

A．表面电导率与表面迁移率 213

B．表面散射及其机制 216

C．强磁场下的二维电导 220

7.4 半导体—金属界面（肖特基势垒） 225

A．肖特基势垒的高度 225

B．肖特基势垒的伏安特性 230

文献 232

后记 235

索引 238