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国外大规模集成电路基础材料
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工业技术

  • 电子书积分:7 积分如何计算积分?
  • 作 者:上海科学技术情报研究所编
  • 出 版 社:上海:上海科学技术文献出版社
  • 出版年份:1979
  • ISBN:15192·9
  • 页数:52 页
图书介绍:
《国外大规模集成电路基础材料》目录

硅材料 1

扩散源 7

光刻胶 16

掩模版 22

超纯水 28

超纯气体 33

超纯化学试剂 37

空气净化 40

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