集成电路APDF电子书下载

1 集成电路的学习方法 1

1.1 集成电路的发明 2

1.2 集成电路发展的动力 4

1.3 集成电路的未来 6

1.4 本书的构成 7

篇外话 8

集成电路专利和日本的半导体工业 8

引用文献 10

练习题 10

2 集成电路中的半导体器件 12

2.1 pn结 12

2.2 双极型晶体管 18

2.3 MOS晶体管 25

2.4 集成电路中的无源元件 36

练习题 38

固体器件的发明 38

引用文献 39

3 集成电路的基础工艺 42

3.1 采用硅单晶制造集成电路的理由 42

3.2 氧化、扩散及离子注入技术 43

3.3 形成精细图形的光刻技术 54

3.4 腐蚀技术 58

同步辐射(SOR)X线光刻技术 59

3.5 薄膜淀积技术 61

练习题 65

引用文献 65

4 集成电路的制造工艺 68

4.1 集成电路的基本结构 68

4.2 双极型集成电路的制造 72

4.3 MOS集成电路的制造 79

4.4 多层布线 85

工艺的低温化 89

练习题 89

5.1 数字集成电路的基本电路 92

5 数字集成电路的基本电路 92

逻辑门电路的噪声容限 93

5.2 CMOS集成电路的基本电路 100

5.3 集成电路掩模的设计 109

练习题 113

引用文献 113

6 工艺、器件及电路的模拟技术 116

6.1 假想工厂 116

6.2 制造工艺的模拟 116

像素模式(pixel model) 121

6.3 器件电特性的模拟 123

6.4 基本电路特性的模拟 127

6.5 模拟结果和实际的差异 133

练习题 133

引用文献 134

练习题解答 135

参考文献 141