硅烷法制取高纯硅 国外资料汇编PDF电子书下载

目录 1

第一章 硅烷的性质 1

第一节 硅烷的物理和化学性质 1

第二节 硅烷的热力学性质 4

第二章 硅氢化合物 9

第一节 硅氢健的性质及制备 9

第二节 硅氢化合物及其氧化作用 18

第三章 硅化镁 45

第一节 硅化镁的性质 45

第二节 硅化镁的合成 46

第三节 硅化镁合成的影响因素与物相分析 48

第一节 酸与硅化镁作用制取硅烷 57

第四章 硅烷的制取 57

第二节 卤化铵与硅化镁作用制取硅烷 60

第三节 氢化铝锂与四氯化硅作用制取硅烷 73

第五章 硅烷的提纯 77

第一节 吸附提纯 77

第二节 络合提纯 88

第三节 水解提纯 95

第四节 预热分解提纯 100

第五节 精馏提纯 101

第六章 硅烷热分解制取多晶硅和单晶硅 116

第一节 硅烷热分解反应机理 116

第二节 硅烷热分解制取多晶硅 123

第三节 硅烷热分解制取单晶硅 135