半导体敏感元件与传感器PDF电子书下载

第一章 传感器的基础知识 1

第一节 传感器的基本概念 1

第二节 传感器的特性 2

第二章 光电传感器 11

第一节 半导体的光电效应 11

第二节 光电导效应器件——光敏电阻器 12

第三节 光生伏特效应器件 17

第四节 电荷耦合成像器件（CCD） 24

第五节 光电耦合器件 27

第三章 半导体气敏元件和传感器 30

第一节 金属氧化物半导体材料 30

第二节 表面电阻控制型气体敏感元件 35

第三节 烧结型SnO2气敏元件的制备工艺 39

第四节 氧化锌（ZnO）表面电阻控制型气敏元件 42

第五节 体电阻控制型气敏元件 43

第六节 ZrO2固体电解质气敏元件 52

第七节 二极管式气敏器件 53

第八节 MOSFET型气敏器件 54

第九节 气敏元件的应用举例 57

第四章 湿度敏感元件与湿度传感器 60

第一节 湿度表示方法及湿敏元件分类 60

第二节 半导体陶瓷湿敏元件 64

第三节 元素半导体湿敏元件 78

第四节 半导体结型和MOS型湿敏元件 79

第五节 湿敏元件的应用 82

第五章 热敏元件与温度传感器 89

第一节 半导体陶瓷热敏电阻 89

第二节 半导体热敏二极管 95

第三节 半导体热敏晶体管 97

第四节 集成温度传感器 98

第六章 半导体磁敏元件及传感器 104

第一节 半导体的磁敏效应 104

第二节 霍尔元件 106

第三节 霍尔元件的补偿技术 109

第四节 霍尔元件的应用 112

第五节 磁阻元件 115

第六节 磁阻元件的应用举例 122

第七节 磁敏二极管 124

第八节 磁敏三极管 130

第九节 磁敏集成电路 134

第七章 力敏元件和力学量传感器 139

第一节 应力、应变的基本概念 139

第二节 电阻应变片 140

第三节 电阻应变片的测量电路 144

第四节 电阻应变片的应用举例 148

第五节 扩散硅压阻式压力传感器 150

第六节 压阻式力学量传感器的结构与性能 165

第七节 压电式力传感器 169

参考文献 183