半导体化学PDF电子书下载

第一章　晶体结构 1

第一节　晶体学基础 1

第二节　晶面、晶向 9

第三节　锗硅的晶体结构 14

第二章　光化学与光刻、制版、照相工艺 25

第一节　光化学基本概念和定律 25

第二节　光刻工艺的化学原理 31

第三节　制版工艺的化学原理 55

第四节　超微粒干板照像冲洗的化学原理 68

第三章　彩色版等离子体刻蚀、表面钝化工艺及其化学原理 81

第一节　彩色版——氧化铁选择透明掩膜版制备的化学原理 81

第二节　等离子体腐蚀、去胶工艺化学原理 94

第三节　表面钝化工艺 107

第四章　合金和相图 132

第一节　合金 132

第二节　合金在半导体器件中的应用 134

第三节　相图 136

第四节　相图的应用 147

第五章　表面现象 151

第一节　表面能与表面张力 151

第二节　表面活性物质 155

第三节　表面吸附现象 160

第四节　表面现象的一些实际应用 169

第六章　纯水的制备 174

第一节　高纯水与半导体工艺 174

第二节　离子交换法纯化水 184

主要参考文献 193