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可重入制造系统的控制
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工业技术

  • 电子书积分:11 积分如何计算积分?
  • 作 者:张洁,吴立辉,翟文彬著
  • 出 版 社:北京:科学出版社
  • 出版年份:2009
  • ISBN:9787030226365
  • 页数:296 页
图书介绍:本书以可重入制造系统--半导体制造系统的控制为研究对象,在全面总结国内外半导体制造系统控制领域研究成果的基础上,结合作者多年来对半导体制造系统控制的技术研究与应用成果,系统全面的介绍了可重入制造系统控制的技术研究、软件实现和企业应用等的全过程。全书共11章,首先从制造系统的概念出发,在对半导体制造工艺描述和特点分析的基础上,介绍了可重入制造系统控制过程的控制原理、建模、调度、预测控制、仿真等方法和技术;然后论述了可重入制造系统控制实现过程的关键技术;最后介绍了可重入制造系统控制的MES软件产品,并对MES软件的企业实施案例进行了系统的分析和介绍。
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