离子注入机基础PDF电子书下载

目录 1

第一章绪论 1

第一节离子注入技术及其对离子注入机的要求 1

第二节离子注入机的结构和类型 5

第三节离子注入机的发展状况 11

第二章离子源 16

第一节离子源的要求和类型 16

第二节气体放电的物理基础 19

第三节离子束从等离子体中的引出 27

第四节双等离子体离子源 40

第五节潘宁源和尼尔逊源 44

第六节弗利曼型离子源 50

第七节高温中空阴极源 54

第八节高频离子源 58

第九节离子源参数的测量 69

第十节离子源结构材料和工作物质 73

第三章离子束的聚焦 88

第一节轴对称电场的离子光学性质 88

第二节离子光学与光线光学的一致性 92

第三节静电透镜的工作特性 98

第四节等梯度加速管 106

第五节四极透镜 112

附录静电透镜的光学特性 124

第一节磁分析器的结构和带电粒子在磁场中的运动 158

第四章质量分析器 158

第二节单向聚焦的磁质量分析器 161

第三节双向聚焦的磁质量分析器 166

第四节延伸边缘场效应 174

第五节质量分辨率 184

第六节磁分析器设计举例 187

第七节正交电磁场分析器 191

第五章带电粒子束的传输 202

第一节相空间和刘维定理在束流传输中的应用 202

第二节在束流传输中发射相图的变化 208

第三节椭圆方程和束流传输的状态方程 211

第四节束流传输中的束包络 214

第五节“腰——腰”传输 223

第六节束流光学与离子成象光学的一致性 230

第七节接受相图和束流传输的匹配 233

第八节空间电荷效应概述 243

第六章真空系统和注入机的终端设备 249

第一节离子注入机真空系统概述 249

第二节离子束的扫描 256

第三节注入靶室 264

第四节离子注入机几个主要参数的测量 267

第七章注入机的电器设备 276

第一节高压稳压电源 277

第二节磁分析器稳流电源 293

第三节扫描电路 300

第四节电流积分仪 310