薄膜材料制备原理、技术及应用PDF电子书下载
- 电子书积分:10 积分如何计算积分?
- 作 者:唐伟忠著
- 出 版 社:北京:冶金工业出版社
- 出版年份:1998
- ISBN:7502421513
- 页数:232 页
1 薄膜制备的真空技术基础 1
1.1 气体分子运动论的基本概念 1
1.1.1 气体分子的运动速度及其分布 1
1.1.2 气体的压力和气体分子的平均自由程 3
1.1.3 单位面积上气体分子的碰撞频率 4
1.2 气体的流动状态和真空的获得 5
1.2.1 气体的流动状态 5
1.2.2 气体管路的疏导 7
1.2.3 真空抽速 8
1.3 真空泵简介 10
1.3.1 旋转式机械泵 11
1.3.2 罗茨真空泵 13
1.3.3 油扩散泵 13
1.3.4 涡轮分子泵 14
1.3.5 低温吸附泵 15
1.3.6 溅射离子泵 17
1.4 真空的测量 18
1.4.1 热偶真空规和皮拉尼真空规 19
1.4.2 电离真空规 20
1.4.3 薄膜真空规 21
2 薄膜的物理气相沉积(Ⅰ)--蒸发法 23
2.1 物质的热蒸发 24
2.1.1 物质的蒸发速度 24
2.1.2 元素的蒸气压 24
2.1.3 化合物和合金的蒸发 27
2.2 薄膜沉积的厚度均匀性和纯度 29
2.2.1 薄膜沉积的方向性和阴影效应 29
2.2.2 蒸发沉积薄膜的纯度 33
2.3 真空蒸发装置 34
2.3.1 电阻式加热装置 35
2.3.2 电子束加热装置 36
2.3.3 电弧加热装置 37
2.3.4 激光加热装置 38
3 薄膜的物理气相沉积(Ⅱ)--溅射法及其他PVD方法 41
3.1 辉光放电与等离子体 41
3.1.1 气体辉光放电的物理基础 42
3.1.2 辉光放电中的碰撞过程 47
3.2 物质的溅射现象 48
3.2.1 溅射产额 49
3.2.2 合金的溅射和沉积 53
3.3 溅射沉积装置 55
3.3.1 直流溅射 55
3.3.2 射频溅射 56
3.3.3 磁控溅射 59
3.3.4 反应溅射 61
3.3.5 偏压溅射 62
3.4 其他物理气相沉积方法 64
3.4.1 离子镀 65
3.4.2 反应蒸发沉积 66
3.4.3 离子束辅助沉积 67
3.4.4 离化原子团束沉积 69
4 薄膜的化学气相沉积 73
4.1 化学气相沉积所涉及的化学反应类型 73
4.1.1 热解反应 73
4.1.2 还原反应 74
4.1.3 氧化反应 74
4.1.4 化合反应 74
4.1.5 岐化反应 75
4.1.6 可逆反应 75
4.1.7 气相输运 76
4.2 化学气相沉积过程的热力学 76
4.2.1 化学反应的自由能变化 77
4.2.2 化学反应的速度 79
4.2.3 化学反应路线与由能变化 84
4.2.4 化学反应平衡的计算 85
4.3 气体的输运特性 88
4.3.1 流动气体的边界层及影响因素 88
4.3.2 扩散与对流 90
4.4 薄膜生长动力学 91
4.4.1 生长速度的一致性 91
4.4.2 温度对沉积速度的影响 93
4.5 化学气相沉积装置 96
4.5.1 高温和低温CVD装置 97
4.5.2 低压CVD装置 98
4.5.3 等离子体增强CVD装置 99
4.5.4 激光辅助CVD装置 102
4.5.5 金属有机化合物CVD装置 103
5 薄膜的生长过程和薄膜结构 105
5.1 薄膜生长过程概述 105
5.2 新相的自发形核理论 107
5.3 薄膜的非自发形核模型 110
5.3.1 非自发形核过程的热力学 110
5.3.2 薄膜的形核率 112
5.3.3 衬底温度和沉积速率对形核过程的影响 114
5.4 连续薄膜的形成 116
5.4.1 奥斯瓦尔多吞并过程 117
5.4.2 溶结过程 118
5.4.3 原子团的迁移 119
5.5 薄膜生长过程与薄膜结构 119
5.5.1 薄膜生长的晶带模型 119
5.5.2 纤维状生长模型 123
5.6 非晶薄膜 126
5.7 薄膜的外延生长 129
5.7.1 点阵失配与外延缺陷 129
5.7.2 半导体的外延生长方法 132
5.8 薄膜生长过程的实际模拟 134
5.9 薄膜中的应力和薄膜的附着力 136
5.9.1 薄膜中应力的测量 137
5.9.2 热应力和生长应力 140
5.9.3 薄膜界面形态和界面附着力 143
6 薄膜材料的表征方法 147
6.1 薄膜厚度测量技术 148
6.1.1 薄膜厚度的光学测量方法 148
6.1.2 薄膜厚度的机械测量方法 155
6.2 薄膜结构的表征方法 159
6.2.1 扫描电子显微镜 159
6.2.2 透射电子显微镜 162
6.2.3 X射线衍射方法 167
6.2.4 低能电子衍射和反射式高能电子衍射 169
6.3 薄膜成分的表征方法 172
6.3.1 原子内的电子激发及相应的能量过程 173
6.3.2 X射线能量色散谱 177
6.3.3 俄歇电子能谱 178
6.3.4 X射线光电子能谱 181
6.3.5 卢瑟福背散射技术 183
6.3.6 二次离子质谱 185
7 薄膜材料及其应用 189
7.1 耐磨及表面防护涂层 189
7.1.1 硬质涂层 191
7.1.2 热防护涂层 196
7.1.3 防腐涂层 198
7.2 金刚石薄膜 199
7.2.1 金刚石薄膜的制备技术 201
7.2.2 金刚石薄膜的应用 205
7.3 集成电路及能带工程 207
7.3.1 集成电路制造技术 208
7.3.2 发光二极管和异质结激光器 209
7.3.3 超晶格、量子阱和能带工程 212
7.4 集成光学器件 216
7.4.1 集成光波导和光学器件 216
7.4.2 集成光学器件材料 218
7.5 磁记录薄膜和光存储薄膜 219
7.5.1 复合磁头和薄膜磁头 221
7.5.2 磁记录介质薄膜及其制造技术 224
7.5.3 光存储介质概况 226
7.5.4 磁光存储 228
7.5.5 相变光存储 230
参考文献 232
- 《钒产业技术及应用》高峰,彭清静,华骏主编 2019
- 《现代水泥技术发展与应用论文集》天津水泥工业设计研究院有限公司编 2019
- 《英汉翻译理论的多维阐释及应用剖析》常瑞娟著 2019
- 《催化剂制备过程技术》韩勇责任编辑;(中国)张继光 2019
- 《数据库技术与应用 Access 2010 微课版 第2版》刘卫国主编 2020
- 《区块链DAPP开发入门、代码实现、场景应用》李万胜著 2019
- 《虚拟流域环境理论技术研究与应用》冶运涛蒋云钟梁犁丽曹引等编著 2019
- 《当代翻译美学的理论诠释与应用解读》宁建庚著 2019
- 《第一性原理方法及应用》李青坤著 2019
- 《计算机组成原理解题参考 第7版》张基温 2017
- 《智能时代的教育智慧》魏忠著 2019
- 《中国皮影》李跃忠著 2019
- 《地表最强熊虫》(日)铃木忠著 2019
- 《微纳米水合碳酸镁的制备与应用》王余莲,印万忠著 2019
- 《说服天下《鬼谷子》的中国沟通术》翟玉忠著 2018
- 《杜甫秦州诗的诗意解读》王元忠著 2019
- 《黄河源笔记》王小忠著 2019
- 《中古道经韵文与写作年代研究》夏先忠著 2019
- 《普通高等院校“十三五”规划教材 国际贸易理论与政策》张海波,李汉君,陈忠著 2017
- 《修辞元素接受论》刘为忠著 2019
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 七年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《北京生态环境保护》《北京环境保护丛书》编委会编著 2018
- 《指向核心素养 北京十一学校名师教学设计 英语 九年级 上 配人教版》周志英总主编 2019
- 《高等院校旅游专业系列教材 旅游企业岗位培训系列教材 新编北京导游英语》杨昆,鄢莉,谭明华 2019
- 《中国十大出版家》王震,贺越明著 1991
- 《近代民营出版机构的英语函授教育 以“商务、中华、开明”函授学校为个案 1915年-1946年版》丁伟 2017
- 《新工业时代 世界级工业家张毓强和他的“新石头记”》秦朔 2019
- 《智能制造高技能人才培养规划丛书 ABB工业机器人虚拟仿真教程》(中国)工控帮教研组 2019
- 《陶瓷工业节能减排技术丛书 陶瓷工业节能减排与污染综合治理》罗民华著 2017
- 《全国职业院校工业机器人技术专业规划教材 工业机器人现场编程》(中国)项万明 2019