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目录 3

上篇洁净技术基础 3

第一章洁净室的发展 3

第一节 高效过滤器及洁净室诞生前后 3

第二节层流洁净室问世及发展 6

第三节六十年代的洁净室水平 10

一、建筑空间 10

二、人员净化 11

三、室内装修 13

第四节七十年代的洁净技术与洁净室 13

一、洁净技术的综合发展与普及 13

二、寻求有效利用洁净气流的建筑空间 15

四、加强全面管理 19

三、装修与构造 19

五、展望八十年代 20

第二章污染源与其微粒子分布 22

第一节污染源及其传播 22

一、污染源 22

二、污染途径举例 29

第二节空气中的微粒子分布 32

一、微粒子分布状态 32

二、粒径分布的成因 34

第三章污染对生产的危害 38

第一节电真空器件 38

第二节单晶硅及半导体器件 39

一、单晶硅 39

二、半导体器件 40

一、尺寸精度与轴承净化 42

第三节精密轴承 42

二、尘埃污染与摩擦力矩 43

第四节胶片、磁带 45

一、胶片 45

二、磁带 46

第五节光导纤维 46

第六节微生物污染控制 48

一、医学上应用微生物洁净室 49

二、制药工业上应用微生物洁净室 51

三、食品工业 52

四、宇航工业 52

第四章洁净室标准 54

第一节洁净室标准的国际情况 54

一、各国洁净室等级标准 54

二、通用的尘埃粒径分布图形 59

第二节我国洁净室等级标准及若干问题剖析 62

一、我国洁净室等级标准 62

二、若干问题剖析 62

第五章综合发展的几项洁净技术 70

第一节空气净化 70

一、空气过滤 70

（一）空气过滤器的性能和分类 70

（二）纤维过滤器的机理和滤效 72

（三）高效过滤器的类型和性能 74

（四）过滤器在空气净化系统中的 78

应用 78

二、气流组织与换气 81

（一）乱流洁净室的气流与洁净度 82

（二）层流洁净室的气流与洁净度 84

三、正压控制 86

一、水 87

第二节水和气体的净化与纯化 87

二、气体 91

下篇洁净技术的应用 97

第六章洁净厂房设计概论 97

一、洁净室的选址 97

二、洁净室与一般生产室分区集中布置 97

三、洁净室及其辅助设施的布置 97

四、人净与生活用室 99

五、物净用室 102

六、空调净化机房及其它站房 102

七、管线组织 103

八、洁净室发展的灵活性 103

一、大气污染程度 104

影响 104

第一节大气污染程度及其对洁净室的 104

第七章厂址的大气污染 104

二、对于室内含尘浓度的影响 106

三、对于运行与管理的影响 107

第二节设计应注意的原则与实例 108

一、选择大气条件良好的厂址环境 108

二、注意厂区内总图布置与绿化 111

第三节工业排气筒对大气的污染 114

一、排气筒排放的物质 114

二、大气稳定度与烟羽形态 114

三、烟羽扩散与计重浓度 116

四、烟尘污染范围模式图 117

第四节道路的污染影响 120

一、道路污染源 120

二、道路尘埃的扩散规律 121

一、绿化对大气净化的效果 123

第五节绿化措施对大气的净化作用 123

二、树种与草皮的选择 126

第八章洁净室、机房与管线的建筑 129

布局 129

第一节洁净生产区的洁净室 129

一、洁净室的若干共性问题 129

（一）生产工序间的联系 129

（二）洁净室的空气洁净度 129

（三）产品的生产方式 130

（四）工艺调整 130

二、生产工艺特征及其对洁净室的 132

要求 132

第二节辅助机房的建筑布局 153

一、空气调节与净化设施 153

二、水的净化设施 160

三、气体净化设施 164

四、电气设施 166

第三节管线敷设的技术特点与隐蔽方式 167

一、管线敷设的技术特点 167

（一）空气净化系统 167

（二）水系统 169

（三）气体动力系统 169

（四）电气系统 170

二、管线敷设方式 171

（一）技术夹层 172

（二）技术夹道与技术竖井 175

（三）构造问题 180

第九章洁净室气流、照明与防火建筑 187

设计 187

第一节不同气流的建筑空间特征 187

一、乱流洁净室的送、回风方式 187

（一）送、回风口装置的建筑条件 189

（二）乱流洁净室实例剖析 191

二、垂直层流洁净室的送、回风方式 199

（一）送、回风口装置的建筑条件 201

（二）垂直层流室实例剖析 204

三、水平层流洁净室的送、回风方式 208

（一）送、回风口装置的建筑条件 209

（二）水平层流室实例剖析 213

四、层流室送风口设计与房间基本 215

尺寸 215

（一）高效过滤器安装方向 215

（二）送风口的综合设计 215

（三）送风口的间隔宽度 216

（四）层流室的空间尺寸 217

五、局部层流空间 218

（一）准垂直层流洁净室 229

六、层流洁净室的变异 229

（二）串连的水平层流洁净室 231

七、发展中的洁净空间 234

第二节洁净厂房的人工照明 235

一、洁净厂房照明特点 235

二、灯具布置与照明效果 236

三、工程实例 238

第三节防火设计的几个问题 241

一、洁净厂房的火灾危险性与建筑耐火等级 242

二、建筑防火分区 244

三、非主体结构的耐火性能 244

四、疏散要求 246

五、消防 248

一、人体散发的污染物质 253

第一节人对环境的污染特性 253

设计 253

第十章物净、人净与生活用室 253

二、人对空气的污染指标 257

第二节 人净与生活用室的区划及物料 262

传递 262

一、人净措施概述 262

二、物料传递 266

三、人净与生活用室的区划 270

第三节工作服与空气吹淋 274

一、工作服 274

二、空气吹淋 279

第四节房间面积定额 284

一、用室布置与设备选择的特殊性 284

二、设备与面积定额分析 285

三、小结 286

一、建筑等级与相应的结构标准 288

二、建筑层数 288

第十一章厂房的建筑等级、层数 288

第一节 厂房建筑等级、层数与层高 288

与装配化 288

三、厂房高度的标志方法与模数 289

第二节 装配化的现状与展望 290

一、一般情况 290

二、洁净厂房的内装修装配化 291

三、自立式装配型洁净室 294

（一）定型单间自立式装配型洁 294

净室 294

（二）多间组合自立式装配型洁 297

净室 297

（三）新的尝试 303

四、装配化的综合发展 306

第十二章振动控制 308

第一节概述 308

第二节 精密设备的容许振动值 310

第三节 厂址选择、厂区总平面布置及洁净厂房设计中的振动控制 314

一、环境振动 314

二、厂址选择及厂区总平面布置原则 321

三、洁净厂房设计 321

四、振动控制设计程序 322

第四节隔振措施 322

一、屏障隔振 323

二、大块基础隔振 324

三、隔振元件隔振 324

室内 342

一、洁净室外界环境空气压力高于 342

第一节 洁净室气密构造的重要性 342

构造 342

第十三章 洁净室空气泄漏与气密 342

二、洁净室内空气压力高于外界环境 343

第二节门窗、墙壁与顶棚等气密性构造 344

一、门窗选型 344

二、门窗的气密构造设计 346

三、墙板、顶棚等缝隙密封 356

（一）室内复面板材的拼接 356

（二）装配型隔断或自立式装配型洁净室的配件组装 358

（三）管道穿行 360

（四）灯孔与送风口 364

四、嵌填用密封材料 365

（一）使用条件与性能要求 365

（二）嵌段甲基室温硫化硅橡胶 366

（三）聚氨酯弹性胶 369

第三节 洁净室泄漏特性的综合评价 371

一、门窗泄漏特性评价 372

二、房间泄漏特性评价 373

第十四章 高效过滤器的安装密封 377

第一节安装缝隙的泄漏影响 377

第二节 高效过滤器的安装构造 378

一、机械压紧密封方式 378

二、自重嵌缝方式 388

三、自重液封方式 388

四、负压密封方式 395

第十五章室内装修 398

第一节 内装修设计要点 398

一、发尘问题 398

二、一般用材与构造 399

三、色彩 400

四、经济 402

第二节 几种装修作法举例 403

一、涂布型地板 403

（一）聚氨酯涂料 403

（二）环氧或聚酯树脂砂浆、胶泥 404

二、粘贴型地板 406

（一）聚氯乙烯软板 406

（二）聚氯乙烯半硬质板 407

三、通风地板 407

四、裱糊饰面 412

第三节静电 413

一、静电带电及其危害 413

二、内装修设计的消静电措施 417

主要参考文献 422

索引 425