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微小世界  深亚微米结构器件和介观物理
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微小世界 深亚微米结构器件和介观物理PDF电子书下载

工业技术

  • 电子书积分:10 积分如何计算积分?
  • 作 者:吴德馨,王守武主编
  • 出 版 社:长沙:湖南科学技术出版社
  • 出版年份:1998
  • ISBN:7535721370
  • 页数:243 页
图书介绍:暂缺《微小世界:深亚微米结构器件和介观物理》简介
《微小世界 深亚微米结构器件和介观物理》目录

1.激动人心的挑战 1

1.1紫外光光刻绝处逢生 4

1.2同步辐射X射线光刻崭露锋芒 24

1.3倍受青睐的扫描电子束光刻 34

1.4大显神通的干法刻蚀和干法显影 52

1.5人工生长超小结构的妙法 65

1.6STM对纳米科技的推动 87

2.微小器件风起云涌——新一代电子器件的家族成员 102

2.1更上一层楼的短沟体硅MOSFET 104

2.2另辟蹊径的短沟SOIMOS 115

2.3捷足先登的短栅HFET 127

2.4重放异彩的VMFET 142

3.介观世界探秘:介观物理和器件 164

3.1奇异的电子行为 166

3.2独特的光学性质 188

3.3理论物理学家们的目光焦点 211

3.4诱人的新型量子效应器件 216

参考文献 239

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