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微小世界 深亚微米结构器件和介观物理PDF电子书下载
- 电子书积分:10 积分如何计算积分?
- 作 者:吴德馨,王守武主编
- 出 版 社:长沙:湖南科学技术出版社
- 出版年份:1998
- ISBN:7535721370
- 页数:243 页
图书介绍:暂缺《微小世界:深亚微米结构器件和介观物理》简介
上一篇:JBuilder开发人员指南下一篇:新手上网 第1章 本书导读
《微小世界 深亚微米结构器件和介观物理》目录
1.激动人心的挑战 1
1.1紫外光光刻绝处逢生 4
1.2同步辐射X射线光刻崭露锋芒 24
1.3倍受青睐的扫描电子束光刻 34
1.4大显神通的干法刻蚀和干法显影 52
1.5人工生长超小结构的妙法 65
1.6STM对纳米科技的推动 87
2.微小器件风起云涌——新一代电子器件的家族成员 102
2.1更上一层楼的短沟体硅MOSFET 104
2.2另辟蹊径的短沟SOIMOS 115
2.3捷足先登的短栅HFET 127
2.4重放异彩的VMFET 142
3.介观世界探秘:介观物理和器件 164
3.1奇异的电子行为 166
3.2独特的光学性质 188
3.3理论物理学家们的目光焦点 211
3.4诱人的新型量子效应器件 216
参考文献 239
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