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目次 1

前言 1

第一章　真空的一般概念 1

大气压力 1

真空 3

真空在技术应用上的优点 5

高真空情况下气体分子的动力 9

学性质 9

第二章　高真空的获得 12

抽气的一些定义 12

粗泵 12

机械真空泵 13

气镇式真空泵 17

分子泵 22

扩散真空泵 23

电子泵 33

离子泵 35

收气和化学清除 38

活性炭 39

第三章　高真空的测量 41

真空规的选择 41

低真空量具 42

麦克劳真空规 46

热导真空规——皮喇尼式和热 49

偶式 49

阻尼真空规 52

热阴极电离真空规 53

冷阴极电离真空规 64

克努曾真空规 69

利用超显微镜测定超高真空 76

高真空量具的展望 77

第四章　电真空工艺 82

电真空工艺的特殊要求 82

金属 84

石墨 89

半导体 89

收气剂 91

绝缘材料 93

玻璃 94

焊接 98

清洁处理 101

第五章　真空系统的设计和使用 103

引言 103

管道设计 104

抽气速率的测量 108

真空泵和真空规的选择 112

真空考克 114

真空油脂 117

检漏 118

除气 121

冷凝阱和干燥剂 125

真空系统的操作手续举例 126

参考书目 129