电子工业生产中的环境控制PDF电子书下载

第一章 产品污染模式 1

污染模式 1

目录 1

产品模式 9

半导体工艺 9

薄膜工艺 16

第二章 产品失效模式 28

半导体的结构 29

产品失效分析 36

检验方法 42

第三章 化学检验分析 42

电磁辐射仪 44

其它主要测试设备 61

试样采集和制备 74

实例记载 76

新领域 76

第四章 显微技术 79

光学显微镜 79

透射式电子显微镜（TEM） 88

扫描电子显微镜（SEM） 92

聚束显微镜和分析器 92

电子微探针分析器（EMA） 95

离子显微分析器 98

仪器的应用 100

第五章 粒子测量系统 108

检查方法的选择 108

表面测量 109

空中粒子测量 112

液体中的粒子测量 121

表面特性 125

第六章 表面净化理论 125

表面化学结构 129

表面物理结构 132

表面作用力 134

表面的相互作用 137

第七章 表面清洗工艺 155

有机溶剂 155

无机清洗剂 159

非化学洗涤法 165

水清洗工艺 172

第八章 工艺用水净化 180

水净化过程 182

纯水分配与控制 191

第九章 工艺化学用料的控制 195

分类控制 195

厂内控制 205

第十章 环境控制的基本原理 207

空中污染物 207

净化环境等级 214

沉淀机理 216

环境控制因素 223

过滤 227

蒸气回收 235

第十一章 净化生产环境设备 242

洁净室系统 245

净化台 257

灰尘控制罩 258

“粒子净化”设备的比较 262

气体污染控制 267

净化环境设备的经济价值 271

第十二章 压缩气体的控制 276

高纯气体的制取 279

高纯气体的分配 281

使用点的控制 287

第十三章 人体净化控制 295

污染来源 295

控制方法 299

第十四章 保健措施 308

化学药品造成的公害 308

化学药品的控制 312

能量的危害 317

人类工程学和工业安全 322

液体度料控制 326

第十五章 工艺废料处理 326

蒸气和烟雾控制 340

第十六章 生产过程的监测 349

产品的电气监测 349

制造过程中的监测 354

一般工厂环境的监测 363

监测程序的重要性 373

附录 关于附录的说明 375

附录（一）100级垂直层流洁净室技术条件 375

附录（二）超净工作台的通用技术条件 395