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目 录 1

第一章真空的概述 1

§1.1真空和真空技术的简史 1

§1.2真空度量的单位和真空区域的划分 4

§1.3真空技术的应用 7

第二章真空物理基础 10

§2.1理想气体定律 10

§2.2气体分子运动论基础知识 13

§2.3基本气体传输现象 19

§2.4分压强定律 31

§2.5气体电离与放电现象 32

§2.6固体对气体和蒸气的吸附 35

§2.7气体的流动 38

第三章真空获得 51

§3.1真空泵的性能参量 52

§3.2机械真空泵 53

§3.3扩散泵 84

§3.4无油真空泵 102

第四章真空测量 134

§4.1总压强计 134

§4.2分压强测量 188

第五章真空系统 221

§5.1真空系统的材料 222

§6.2真空阀门 236

§5.3真空阱 246

§54真空系统的组装技术 247

§5.5实用真空系统 261

第六章真空检漏 276

§6.1真空检漏的重要性 276

§6.2常用的检漏方法 287

§6.3氦质谱检漏仪 311

§6.4标准漏孔 329

附录 336