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第一章 绪论 1

1.1 传感器的位置 1

1.2 传感器的分类 4

1.3 传感技术的发展 6

1.4 智能传感器的发展 13

1.5 传感技术基础 14

第二章 硅微传感器与智能传感器 34

2.1 概述 34

2.2 薄膜技术 36

2.3 硅微机械加工技术 44

2.4 X射线深层光刻电铸成型技术 62

2.5 微型传感器结构 66

2.6 硅压力传感器 70

2.7 硅微加速度传感器 77

2.8 智能传感器 82

第三章 光电传感器 90

3.1 光探测器的物理基础 91

3.2 光探测器 100

3.3 热探测器 119

4.1 光纤基本理论 123

第四章 光纤传感器 123

4.2 几种主要光纤波导 134

4.3 光纤的激励与连接 136

4.4 光纤传感器概述 142

4.5 光纤传感器的调制技术 145

4.6 光纤传感器的应用 171

第五章 气敏传感器及应用 179

5.1 概述 179

5.2 电阻型气敏传感器 184

5.3 固体电解质气敏传感器 187

5.4 MOSFET 气敏传感器 189

5.5 气敏传感器的应用 198

第六章 离子敏传感器 199

6.1 离子选择电极 199

6.2 ISFET 离子敏传感器 201

6.3 固态参比电极 216

6.4 ISFET 的特点 218

6.5 ISFET 的应用 219

参考文献 221