多层膜设计中的计算机辅助技术PDF电子书下载

目录 1

第一章 多层膜滤光片计算的基本理论和符号 1

1.1　多层膜计算用符号 2

1.2　单界面的反射率和透射率 4

1.3　单层膜的计算 7

1.4　多层膜的计算 9

1.5　多层膜的另一种计算方式 14

1.6　周期性多层膜和经典膜堆 16

1.7　基片后表面反射的影响 22

1.8　图解法计算 28

1.9 多层膜内部电场强度的计算 30

第二章　滤光片的解析设计技术 35

2.1 重要滤光片的分类 35

2.2 消色差减反射膜的设计（利德尔1966）——一种图解法的说明 40

2.3　两有效界面法 46

2.4　宽带高反射膜的设计 52

2.5　等效折射率技术在多层膜设计中的应用 57

第三章　电气滤波器设计技术的应用 63

3.1 网络合成中用的基本符号和术语的定义 63

3.2　扬的减反射膜合成 66

3.3　西利的干涉滤光片合成 70

3.4　多层膜的电路模拟方法 75

3.5　陈的电路模拟迭代法 83

第四章 多层膜设计中评价函数技术的应用 86

4.1 鲍曼斯特的逐次逼近法 87

4.2 自动设计方法 90

4.3　希文斯和利德尔的最小二乘法 93

4.4 多布洛沃尔斯基的全自动膜系合成法 102

4.5　佩莱梯埃、克劳皮施和贾科玛的多层膜合成法 109

4.6　陈的翻转值法 115

4.7　膜系偏振效应的减小 120

第五章　傅里叶变换合成法 126

5.1　近似矢量法 127

5.2　精确的合成方法 129

5.3　多布洛沃尔斯基和洛的薄膜合成程序 131

第六章　薄膜光学常数的理论确定 137

6.1 透明基片上单层吸收膜的反射率和透射率公式 138

6.2　利用哈德利—丹尼逊曲线确定n和k 140

6.3　贝内特和布典方法 142

6.4　艾贝莱斯和西耶方法 143

6.5　用沃德等人的方法计算光学常数和厚度 144

6.6　其他的单波长方法 145

6.7　表征光学特性的汉森理论 145

6.8　克雷默斯·克罗涅格分析方法 149

6.9　弱吸收薄膜光学常数的确定 151

6.10　色散公式的使用 151

第七章　厚度监控技术和监控误差的分析方法 164

7.1　监控误差的计算机模拟 166

7.2　鲍曼斯特的灵敏度分析方法 169

7.3　窄带滤光片中随机误差的里奇分析 172

7.4　翻转值监控方法中的误差研究 174

7.5　监控中的“动态”误差 181

7.6　使用二个或多个波长的监控系统 190

7.7　膜层光学厚度不相等的滤光片 191

附录1 对多层膜设计者有用的一些最优化技术简介　 196

A1.1 引言 196

A1.2　无约束最优化方法 197

A1.3　极小化非线性函数的平方和方法 199

A1.4　有约束的最优化方法 201

A1.5　程序库中最优化程序的获得和运用 203

附录2 计算机程序 204

A2.1 计算无吸收、无色散薄膜的反射率和透射率的程序　 204

A2.2 N2扫描自动设计程序（NSQ2）的说明 214

参考文献 218