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目录 1

前言 1

第一章 概述 1

第二章 电子显微镜的原理 11

一、显微镜中的电子波 13

二、电子透镜 14

三、电子显微镜的实际磁透镜 16

四、磁透镜的特性 19

1．球差 26

五、电子透镜的象差 26

2．色差 28

3．象散 29

4．畸变 30

5．彗差 32

6．象差的实验曲线和有关公式 32

六、场深和焦深 38

2．开机 1 38

七、电子图象的形成 40

1．散射 40

1．加速电压的选择 1 41

2．吸收 42

3．干涉 42

4．衍射 43

八、影响分辨本领的因素 43

1．色差的影响 44

2．象散的影响 44

3．污染的影响 45

4．电子图象的移动 45

参考文献 46

5．电子噪声 46

一、电子光学系统 47

1．电子枪 47

第三章 电子显微镜的结构 47

2．聚光镜 56

3．合轴机构和调焦器 60

4．样品室 65

5．物镜 67

6．中间镜投影镜 73

7．磁路的设计 82

8．观察室 86

9．照相机 88

1．低真空系统 90

二、真空系统 90

2．高真空系统 93

3．真空管道阀门及控制系统 94

4．真空检测 96

三、供电系统 99

1．加速电源 99

2．磁透镜激磁电源 111

3．辅助电源 117

四、辅助系统 133

1．水冷系统 133

2．气动系统 134

3．起重架 135

参考文献 136

第四章 电子显微镜的调试 137

一、操作步骤 137

1．开机前的准备 137

3．停机 140

二、电子枪工作条件的选择 141

2．灯丝形状和温度等状态的选择 141

3．真空度的要求 142

三、透镜合轴 143

1．照明系统合轴 143

2．成象系统合轴 150

3．照明系统与物镜的合轴 152

四、消除象散 154

1．聚光镜消除象散 154

4．消象散器与透镜的合轴 154

2．物镜消除象散 156

五、物镜调焦 158

六、拍摄显微照片 161

1．准备拍片 162

2．曝光 164

参考文献 165

第五章 电子显微镜的安装维护和修理 166

一、电子显微镜的安装条件 166

1．对房间的要求 166

2．对电源的要求 168

3．对水源的要求 169

4．温、湿度及空气调节 170

5．对杂散磁场的要求 171

6．对机械振动的要求 173

7．照明 174

二、电子显微镜的维护 174

1．每天使用前的调整 174

2．性能检查 175

3．真空部件清洗 186

4．更换电子枪灯丝 191

5．重涂荧光屏 194

6．真空泵换油 195

7．空压机的维护 197

三、电子显微镜的修理 197

1．真空故障 197

2．调象故障 199

参考文献 202

第六章 扫描电子显微镜的原理与结构 203

一、扫描电子显微镜的成象原理 204

1．二次电子 205

2．背散射电子 207

3．吸收电流 208

4．俄歇电子 209

5．X射线 209

6．阴极荧光 210

7．电子-空穴对 210

8．透射电子 210

二、扫描电子显微镜的基本结构 212

1．电子光学系统 213

2．扫描系统 215

3．信号检测系统 218

4．显示系统 229

5．样品室和样品台 230

6．真空系统 231

三、获得高分辨率的条件 232

1．电子光学性能 232

2．电子束和样品的相互作用 235

3．外界干扰 235

四、扫描电子显微镜的操作 237

1．真空操作 237

2．置换样品 237

3．选择加速电压，加热灯丝 238

4．透镜电流选择 238

5．扫描速度的选择 239

6．图象的信号增益、衬度和亮度控制 241

7．消象散 242

8．图象记录 243

9．关闭真空 243

参考文献 243

第七章 电子显微镜样品的制备 245

一、样品制备室 245

二、载网 246

1．载网的质量要求 246

2．成型工艺 247

3．种类及其应用 249

4．铜网的清洗法 254

三、支持膜 255

1．常见支持膜 256

2．高分辨率支持膜 263

四、真空镀膜技术在样品制备中的应用 268

1．电镜室专用的真空镀膜机 268

2．金属的蒸发 270

3．铂-碳的蒸发 273

4．扫描电子显微镜样品的金属覆盖层 274

五、样品制备方法 275

1．微粒样品的制备法 275

2．复型技术 277

3．投影技术 283

4．超薄切片 286

5．薄膜样品 294

6．测定电子显微镜性能的样品 298

7．冰冻蚀刻 316

8．临界点干燥 318

参考文献 320

第八章 电子显微镜的暗室技术 323

一、暗室设计 323

1．结构 323

2．通风 325

3．照明 325

4．洁净 326

5．显影台 326

6．水洗池 327

7．出入口的设计 327

8．主要器材 328

2．冲洗负片的操作 330

二、暗室操作技术 330

1．基本流程 330

3．印相、放大照片 335

4．照相纸的选择 341

三、电子显微镜专用的感光片 343

1．灵敏度和分辨率 343

2．片基 344

3．其它特性 345

四、常用配方 346

1．显影液 346

2．定影液 348

3停显液 349

4．显影液和定影液的保存方法和有效寿命 349

参考文献 350

第九章 电子衍射 351

一、电子衍射的原理及用途 351

1．阿贝衍射成象 351

2．选择衍射成象 353

3．电子衍射技术的应用领域 355

二、电子衍射的一些基本方法 355

1．透射电子显微镜的电子衍射方法 355

2．扫描透射的电子衍射方法 361

3．透射和扫描透射混合方法——摇摆束衍射技术 364

4．扫描电子显微镜的电子衍射技术 366

参考文献 371

第十章 电子显微镜的附加装置 372

一、防污染装置 372

二、倾斜附件 374

三、扫描附件 379

四、X线能谱元素分析附件（EDX） 382

五、象增强附件及电视显示装置 385

六、电子能量损失谱附件（EELA） 387

七、其它附加装置 387

参考文献 389

第十一章 电子显微镜的新技术展望 390

一、电子显微镜原理及结构上的新技术 390

二、电子显微镜应用方面的新技术 394

参考文献 395

一、透射电子显微镜 396

1．DXB2-12型电子显微镜 396

附录一 国产电子显微镜性能 396

2．DXA4-10型电子显微镜 397

3．XDT-10型电子显微镜 398

4．DX-201型电子显微镜 399

二、扫描电子显微镜 400

1．DX-3型扫描电子显微镜 400

2．SMDX-1P型微区分析扫描电子显微镜 401

3．TSM-Ⅱ型扫描电子显微镜 402

附录二 电镜室可考虑的配套设备和其它物品 404

1．设备 404

2．仪器 404

3．手工具 404

4．玻璃器皿 405

5．试剂、溶剂及油脂等 405