机械加工工艺手册 第2卷 第14章 精密加工及超精密加工PDF电子书下载

第14章 精密加工及超精密加工 1

第1节 概述 3

1 精密加工和超精密加工的范畴 3

2 精密加工和超精密加工方法 4

3 影响精密加工和超精密加工的因素 7

4 精密加工和超精密加工的特点 9

第2节 金刚石刀具的超精密切削 10

1 金刚石刀具超精密切削机理 10

2 金刚石刀具超精密切削机床 13

3 金刚石刀具的设计与刃磨 23

4 金刚石刀具超精密切削的应用 28

5 金刚石刀具切削加工误差的影响因素 29

第3节 超精密磨料加工 31

1 精密磨削和超精密磨削 31

2 精密和超精密砂带磨削 33

3 精密和超精密研磨 40

4 精密和超精密抛光 42

第4节 超精密特种加工 48

1 超精密特种加工方法 48

2 电子束加工 49

3 离子束加工 50

第5节 超精密加工的测量和误差补偿 51

1 超精密主轴系统及其动态精度测量 51

2 误差补偿技术 52

3 表面粗糙度的非接触式测量 53

第6节 精密定位、对准和微位移技术 54

1 精密定位 54

2 对准 54

3 微位移机构 55

第7节 超精密加工的工作环境 58

1 恒温 58

2 净化 59

3 防振和隔振 59

参考文献 61