直线度平面度测量技术PDF电子书下载

第一章 导论 1

一 引言 1

二 有关术语 1

三 直线度、平面度公差 3

四 形状误差评定准则及评定方法 6

五 平面度计量器具国家计量检定系统 10

第二章 直线度测量 11

第1节 测量基准 11

第2节 无直线基准测量法 12

一 多面互检法 12

二 误差分离法 18

第3节 有直线基准测量法 25

一 实体直线基准测量法 25

二 重力基准测量法 43

三 光线基准测量法 50

四 光线基准干涉法 72

五 物理光学法 79

第4节 双频激光直线度测量装置机理及误差分析 82

一 渥拉斯顿棱镜作用原理 82

二 激光束漂移对测量的影响 89

三 渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量的影响 103

四 双面反射镜平面度误差对测量的影响 104

五 结论 104

第5节 各种直线度测量方法的特点及直线度测量原则 105

一 各种直线度测量方法的特点 105

二 直线度测量原则 108

第三章 直线度误差的评定方法及其测量不确定度 112

第1节 采样点读数值的归一处理 112

一 采样点的读数值和偏差值 112

二 采样点读数值的归一处理 113

第2节 直线度误差的评定方法 116

一 两端点联线法 117

二 最小二乘法 122

三 最小包容区域法(最小条件法) 122

第3节 最小条件法评定直线度误差的计算机精确算法 125

一 构造包容线法 125

二 构造凸多边形法 126

第4节 直线度误差的测量不确定度 132

一 各采样点读数值直接作用时直线度误差的测量不确定度 132

二 各采样点读数值非直接作用时直线度误差的测量不确定度 138

第四章 平面度测量 142

第1节 小平面平面度测量 142

一 平面平晶法测量 142

二 等厚干涉仪测量 143

三 高精度光学基准平面的测量 144

第2节 大平面平面度测量 150

一 水平仪、自准直仪法 151

二 标准平板打表法 155

三 光线扫描法 156

四 液面法 159

第五章 平面度误差的评定方法及其测量不确定度 162

第1节 采样点读数值的归一处理 162

一 水平仪测量方形网格布线读数值归一处理 162

二 自准直仪测量网格——对角线布线读数值归一处理 164

第2节 平面度误差的评定方法 171

一 对角线评定法 171

二 最小条件评定法 171

三 计算机近似评定法 174

四 最小条件计算机精确算法 175

第3节 最小条件法评定平面度误差的计算机精确算法——分区排序交叉判别法 175

一 方法原理要点 175

二 程序流程及步骤 188

三 计算例题 190

第4节 平面度误差的测量不确定度 192

一 按三角形准则评定平面度误差时的测量不确定度的分析 192

二 按交叉准则评定平面度误差时的测量不确定度的分析 194

三 按直线准则评定平面度误差时的测量不确定度的分析 196

四 平面度测量中两种布线形式的采样点偏差值的测量不确定度 198

附录 211

参考文献 225