基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用PDF电子书下载

1　基本建模过程 1

1.1　模型向导 1

1.2　选项与设置 2

1.3　绘制几何图 2

1.4　设置物理性质 3

1.5　耦合应用模式 3

1.6　划分网格 3

1.7　求解模型 5

1.8　后处理分析结果 6

2　MEMS受激模型 6

2.1　悬臂梁模型 8

2.1.1 概述 8

2.1.2　模型定义 8

2.1.3　求解结果 9

2.1.4　应用COMSOL Multiphysics建模 10

2.1.5　用户图形界面建模 10

2.2　梳状驱动器模型（Comb Drive） 15

2.2.1 概述 15

2.2.2　模型定义 16

2.2.3　应用COMSOL Multiphysics建模 17

2.2.4　结果与分析 17

2.2.5　用户图形界面建模 19

2.3　电容性3D梳状驱动器模型（3D Comb Drive） 25

2.3.1 概述 25

2.3.2　有关理论 26

2.3.3　结果与分析 26

2.3.4　应用COMSOL Multiphysics建模 27

2.3.5　用户图形界面建模 27

2.4　微电阻梁模型（Microresistor Beam） 33

2.4.1 概述 33

2.4.2　结果与分析 33

2.4.3　应用COMSOL Multiphysics建模 34

2.4.4　用户图形界面建模 34

2.5　预应力微型镜模型 42

2.5.1　概述 42

2.5.2　模型定义 43

2.5.3　结果与分析 43

2.5.4　用户图形界面建模 44

2.6　薄膜共振的残余应力模型 51

2.6.1　概述 51

2.6.2　模型定义 52

2.6.3　结果与分析 53

2.6.4　用户图形界面建模（2D,Straight Cantilevers） 53

2.6.5　用户图形界面建模（2D,Folded Cantilevers） 57

2.6.6　用户图形界面建模（3D,Straight Cantilevers） 62

2.6.7　用户图形界面建模（3D,Folded Cantilevers） 67

2.7　热-机作用的微型阀模型 72

2.7.1　模型定义 72

2.7.2　应用COMSOL Multiphsics建模 73

2.7.3　结果与分析 74

2.7.4 用户图形界面建模（2D） 75

2.7.5 用户图形界面建模（3D） 81

3　MEMS传感器模型 81

3.1　挤压气膜阻尼式加速度传感器模型 89

3.1.1　概述 89

3.1.2　模型定义 90

3.1.3　结果与分析 91

3.1.4　用户图形界面建模（2D） 92

3.1.5 用户图形界面建模（3D） 95

3.2　电容性压力传感器模型 99

3.2.1　概述 99

3.2.2　模型定义 100

3.2.3　结果与分析 102

3.2.4　应用COMSOL Multiphysics建模 103

3.2.5 用户图形界面建模 104

4　微通道流动模型 104

4.1　交流动电学的增强表面反应模型 112

4.1.1　概述 112

4.1.2　模型定义 112

4.1.3　结果与分析 115

4.1.4 应用COMSOL Multiphysics建模 116

4.1.5　用户图形界面建模 117

4.2　动电阀中的传输模型 127

4.2.1　概述 127

4.2.2　模型定义 127

4.2.3　结果与分析 130

4.2.4 应用COMSOL Multiphysics建模 131

4.2.5 用户图形界面建模 133

4.3　ALE流动-结构相互作用模型 142

4.3.1　概述 142

4.3.2　模型定义 143

4.3.3　结果与分析 144

4.3.4 应用COMSOL Multiphysics建模 145

4.3.5　用户图形界面建模 146

4.4　薄片层流混合模型 149

4.4.1　概述 149

4.4.2　模型定义 150

4.4.3　结果与分析 151

4.4.4 应用COMSOL Multiphysics建模 152

4.4.5　用户图形界面建模 152

4.5　微电渗混合器模型 158

4.5.1　模型定义 159

4.5.2　结果与分析 160

4.5.3 应用COMSOL Multiphysics建模 161

4.5.4　用户图形界面建模 162

4.6　星形微通道芯片模型 167

4.6.1 模型定义 167

4.6.2　结果与分析 168

4.6.3　应用COMSOL Multiphysics建模 168

4.6.4　用户图形界面建模 169

5　压电装置模型 169

5.1　压电陶瓷管模型 176

5.1.1 模型定义 176

5.1.2　结果与分析 177

5.1.3　应用COMSOL Multiphysics建模 177

5.1.4　用户图形界面建模 178

5.2　压电式剪切驱动梁模型 182

5.2.1　模型定义 183

5.2.2　结果 184

5.2.3　应用COMSOL Multiphysics建模 184

5.2.4　用户图形界面建模 184

5.3　复合式压电换能器模型 189

5.3.1　概述 189

5.3.2　结果 190

5.3.3　用户图形界面建模 190

参考文献 198