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VLSI ELECTRONICS MICROSTRUCTURE SCIENCE VOLUME 8 PLASMA PROCESSING FOR VLSI
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  • 电子书积分:16 积分如何计算积分?
  • 作 者:NORMAN G.EINSPRUCH AND DALE M.BROWN
  • 出 版 社:ACADEMIC PRESS
  • 出版年份:1984
  • ISBN:0122341082
  • 页数:527 页
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