集成传感器文集 译文专集 第2分册PDF电子书下载

集成传感器文集 1

第二分册 1

译文专辑 1

1、集成压力传感器 1

2、MOS集成压力传感器 6

3、CMOS集成硅压力传感器 14

4、多晶硅压力传感器 23

5、多晶硅的压阻特性 28

6、集成多用传感器芯片 34

7、高温超小型固态压力传感器的进展 40

8、硅压阻传感器的温度灵敏度 54

9、可在300℃下使用的微型压力传感器 75

10、横向标准压力传感器采用各向异性刻蚀法的主要优点 82

11、采用阳极氧化自停腐蚀法制作压敏传感器的硅膜片 89

12、集成灵敏传感器的固态封接和组装技术 94