薄膜与涂层现代表面技术PDF电子书下载

第1章 材料表面技术与工程概论 1

材料表面技术与工程的概述 1

材料表面技术与工程实施的目的 1

材料表面技术与工程的分类和基础理论 2

材料表面技术与工程应用 12

航空航天工业中的应用 13

汽车工业中的应用 15

城市建设中的应用 17

家用电器工业中的应用 18

钢铁工业中大型部件的应用 19

电力、石化、机械工业中的大型部件上的应用 22

功能材料和元器件中的应用 23

电子技术中的应用 24

保护、优化环境中的应用 25

研究和制备先进新材料中的应用 27

材料表面技术与工程发展 36

材料表面技术与工程的概念 36

材料表面技术与工程的发展展望 37

参考文献 39

第2章 热喷涂涂层技术 41

概述 41

热喷涂涂层形成原理 41

热喷涂涂层的技术特点 41

热喷涂的技术分类 42

热喷涂涂层材料的特点和分类 45

热喷涂发展的历史概况 58

热喷涂技术的物理基础 59

热喷涂的热源特征 59

热喷涂涂层形成过程及其结构 64

热喷涂过程中粒子沉积的行为 66

金属粒子飞行过程中的氧化 67

热喷涂粒子的速度和温度 68

热喷涂涂层的残余应力 71

热喷涂涂层的结合机理 72

热喷涂的方法及装置 73

火焰喷涂 73

电弧喷涂 82

等离子喷涂 86

激光喷涂和喷焊 96

电热热源喷涂 98

热喷涂涂层的制备工艺 104

基体表面预处理 104

喷涂工艺 105

涂层精加工 112

微/纳米热喷涂涂层 113

微/纳米热喷涂简介 113

等离子喷涂的纳米结构涂层 115

超音速火焰喷涂的微/纳米结构涂层 118

电弧喷涂纳米结构涂层 119

微/纳米热喷涂技术的应用前景 120

热喷涂工艺技术的工业应用 121

热喷涂技术在航空航天工业中的应用 121

热喷涂技术在现代钢铁工业中的应用 130

热喷涂技术在能源工业中的应用 137

热喷涂技术在包装、印刷工业中的应用 142

热喷涂技术在造纸机械上的应用 145

热喷涂技术在纺织工业中的应用 150

热喷涂技术在汽车工业中的应用 150

热喷涂技术在化学工业中的应用 153

热喷涂在舰船空泡腐蚀防护上的应用 154

人工种植体生物功能中的应用 155

远红外辐射涂层的节能应用 157

热喷涂技术应用于喷涂成型 157

热喷涂用于模具的制造 158

大型钢结构件的长效防腐蚀 158

参考文献 159

第3章 材料现代表面改性技术 162

概述 162

等离子体的材料表面改性处理技术 163

等离子体的物理概念及其产生方法 163

等离子渗氮的原理 165

离子渗氮的优缺点和理论 168

等离子渗氮的设备和工艺 169

等离子渗氮的工程应用 176

等离子渗碳与碳氮共渗表面改性技术 206

等离子渗硫、等离子硫氮共渗、硫氮碳共渗 212

电子束与材料表面改性技术 216

电子束与材料表面改性特点 216

电子束与材料相互作用 217

电子束与材料表面改性装置 219

电子束与材料表面改性工艺 222

电子束与材料表面改性的应用 230

激光束与材料表面改性技术 231

激光束与材料表面改性的特点 231

激光束与材料的相互作用 232

激光束与材料表面改性设备 243

激光与材料表面改性工艺 245

激光束表面改性在工程材料中的应用 266

离子注入与材料表面改性技术 274

简介 274

离子注入的基本原理和优缺点 275

离子注入机 280

离子注入的改性机理 285

离子注入材料的工业应用 289

参考文献 313

第4章 薄膜化学气相沉积技术 316

概述 316

等离子体增强化学气相沉积技术 321

等离子体增强化学气相沉积技术中等离子体的性质和特点 321

射频等离子体化学气相沉积（RF-PCVD）技术 325

直流等离子体增强化学气相沉积技术 339

脉冲直流等离子体化学气相沉积技术 347

激光化学气相沉积（LCVD）技术 355

激光化学气相沉积设备 355

激光化学气相沉积工艺 357

应用 362

微波等离子体化学气相沉积技术 364

微波等离子体CVD装置 365

微波等离子体CVD沉积工艺与应用 367

金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术 369

金属有机化学气相沉积的原理 370

MO源 370

金属有机化学气相沉积设备与工艺 373

金属有机化学气相沉积技术的应用 379

分子束外延技术 383

分子束外延的特点 383

分子束外延的原理 384

分子束外延装置与分类 384

分子束外延的生长工艺 389

分子束外延的应用 390

化学气相沉积金刚石薄膜技术 390

金刚石薄膜的优异的性能 391

沉积制备金刚石膜的方法 394

化学气相沉积金刚石膜机理 397

金刚石薄膜制备与应用研究的主要进展 400

展望 407

参考文献 409

第5章 薄膜物理气相沉积技术 411

概述 411

真空蒸发镀膜技术 414

简介 414

真空蒸发镀膜原理 415

真空蒸发镀膜方式及设备和工艺 419

真空蒸发镀膜的应用 428

溅射镀膜技术 431

简介 431

溅射镀膜原理 433

溅射镀膜的方式 437

溅射镀膜装置和工艺 441

溅射镀膜的应用 442

离子镀膜技术 456

简介 456

离子镀膜的原理和特点 457

离子镀膜的工艺 464

活性反应离子镀 467

空心阴极离子镀 474

射频溅射离子镀 477

磁控溅射离子镀 480

真空电弧离子镀 494

热阴极强流电弧离子镀 503

参考文献 506

第6章 表面复合离子处理技术 508

概述 508

离子注入与镀膜的技术复合 509

离子束辅助沉积技术 509

离子团束沉积技术 528

激光与气相沉积、电子束与气相沉积技术复合 537

激光与气相沉积技术复合 537

电子束与气相沉积技术的复合 537

等离子喷涂与激光技术复合 538

用等离子喷涂与激光复合技术提高钢基材的性能 538

用等离子喷涂与激光复合涂层技术提高精锻机芯棒的高温、高速锻打的使用寿命 540

激光雕刻柔版印刷用高线数陶瓷涂层网纹辊 541

等离子喷涂与激光涂覆技术复合提高涂层的性能 545

等离子喷涂与离子注入技术复合提高材料表面硬度和摩擦性能 546

多种表面沉积技术制备多层复合膜层 546

用多种气相沉积技术制备发光器件的多功能复合膜层 546

用多种表面处理技术制备在临界压应力下不易塌陷的多层复合膜 549

磁控溅射与阴极多弧离子镀的技术复合 550

多层硬质复合膜与纳米多层膜技术 555

多层硬质复合膜与纳米多层膜沉积设备 555

多层硬质耐磨膜 555

纳米超硬多层膜 556

参考文献 562

第7章 材料表面微细加工技术 564

概述 564

表面微细加工技术简介 565

光刻加工 565

电子束微加工 569

离子束微加工 572

激光束微细加工 579

超声波加工 581

微细电火花加工 584

微细电解加工 587

微电铸 588

LIGA技术加工 590

准LIGA技术加工 593

微细加工技术是微电子技术发展的工艺基础 594

微电子微细加工技术 594

微细加工技术是微电子技术发展的工艺基础 598

微机电系统加工技术 599

微机电系统加工技术与特点 600

微机电系统加工的典型器件与系统 601

微机械与微机电系统常用材料 611

微机电系统加工的多样化与标准化 612

微机电系统研究开发概况与产业化前景 614

国外微机电系统研究开发概况及产业化前景 614

我国微机电系统技术研究开发概况和发展方向 616

参考文献 618