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第1章 传感器技术基础 1

传感器在武器装备中的地位与作用 1

传感器的概念 2

传感器的定义 3

传感器的分类 4

传感器在军事上的应用 5

传感器在航天、航空中的应用 6

传感器在火控系统中的应用 10

传感器在军用智能机器人中的应用 12

传感器中的物理定律 14

传感器的结构原理 15

传感器的基本功能单元 15

传感器的信号转换方式 16

传感器的性能及其评价方法 18

传感器数学模型的一般形式 18

传感器的静态特性及其评价 20

传感器的动态特性及其评价 21

传感器的标定 25

国内外传感器的发展趋势 26

传感器的重要地位和作用 26

传感器技术的发展趋势 26

传感器的选用原则 31

传感器的选择方法 31

传感器应用中的注意事项 31

参考文献 32

第2章 加速度、速度、位移传感器 33

加速度传感器 33

压电石英加速度传感器 34

压电陶瓷加速度传感器 34

硅微压阻式加速度传感器 35

硅微电容式加速度传感器 36

气体摆式线性加速度传感器 38

角加速度传感器 39

压阻式角加速度传感器 39

压电射流角加速度传感器 40

速度传感器 40

振动速度传感器 40

角速度传感器 41

转速传感器 42

磁电式转速传感器 42

光电式转速传感器 43

霍耳元件转速传感器 44

位移传感器 45

线位移传感器 45

角位移传感器 46

倾角仪及水平传感器 47

气体摆式倾角传感器 47

水平姿态传感器 48

变面积式电容倾角传感器 49

参考文献 51

第3章 力、压力与触觉传感器 52

力传感器 52

电阻应变式荷重传感器 52

光纤式荷重传感器 53

压力传感器 53

硅压阻式压力传感器 54

电容式压力传感器 55

差压传感器 56

高温压力传感器 57

多晶硅压力传感器 57

SOI高温压力传感器 58

SiC高温压力传感器 58

硅—蓝宝石压力传感器 60

谐振式石英压力传感器 60

陶瓷厚膜高温压力传感器 61

触觉传感器 62

接触觉传感器 62

力/力矩觉传感器 65

压觉传感器 66

滑觉传感器 66

接近觉传感器 67

工作原理 67

应用 69

参考文献 70

第4章 磁与声、光传感器 72

磁传感器 72

磁通门传感器 72

霍耳效应传感器 74

磁阻传感器 76

其他磁传感器 78

声传感器 78

空气声传感器 78

水声传感器 83

固体声传感器 91

超声传感器 92

声表面波传感器 98

光传感器的分类 98

固体图像传感器 98

红外传感器 99

激光传感器 99

光纤传感器 99

参考文献 101

第5章 液体参数、流量传感器 102

液位传感器 102

投入式、插入式、法兰式液位传感器 102

低温及超低温液位传感器 103

浮球连续（开关式）液位传感器 103

超声固体（液体）物位传感器 104

密度、浓度、浊度传感器 105

在线密度传感器 105

悬浮颗粒浓度传感器 106

肼类浓度监测传感器 106

表面散射浊度传感器 107

表面粗糙度传感器 107

流量传感器 108

气体质量流量传感器 109

热线式质量流量传感器 110

薄膜式质量流量传感器 110

浮子式质量流量传感器 111

涡街式流量传感器 111

涡轮式流量传感器 112

差压式流量传感器 114

超声流量传感器 115

旋转活塞式流量传感器 115

电磁流量传感器 116

参考文献 117

第6章 可燃气体、毒气和气象传感器 118

可燃气体传感器 118

甲烷传感器 118

乙炔传感器 119

氧气传感器 120

二氧化碳传感器 121

毒气传感器——一氧化碳传感器 122

气象传感器 123

气压传感器 123

风速风向传感器 124

热线式风速传感器 125

微风速传感器 125

数字式风速/温度传感器 126

电阻式温度传感器 126

红外测温传感器 127

数字式热流传感器 128

热电偶式温度传感器 128

湿度传感器 130

有机高分子式湿度传感器 130

陶瓷式湿度传感器 131

露点湿度传感器 132

红外三波长水分传感器 133

微量水分传感器 134

油中水分传感器 134

参考文献 135

第7章 特种用途传感器、模块与系统 136

特殊用途传感器 136

光电自准直传感器 136

烟雾传感器 137

紫外火焰传感器 139

地震动传感器 140

超声波探测器 140

光电式接近觉传感器 141

传感器模块 143

头盔用方位姿态模块 143

数字式磁航向模块 144

无线振动声音模块 145

集成加速度模块 146

微惯性测量组合模块 147

传感系统 148

三维测量传感系统 148

扫描激光成像系统 150

合成孔径聚焦成像系统 150

光学测距传感系统 151

战场侦察传感系统 152

参考文献 153

第8章 无线传感器网络 154

概述 154

工作原理 155

基本概念 155

无线传感器网络结构 156

物理层技术 157

介质访问控制协议 158

无线传感器网络的路由 158

无线传感器网络传输协议 159

无线传感器网络的管理技术 160

无线网络及无线传感器网络的特点 161

无线网络的特点 161

无线传感器网络的特点 162

无线传感器网络的应用 162

无线传感器网络在军事领域的应用 162

无线传感器网络在民用领域的应用 164

无线传感器网络的发展现状和趋势 165

无线传感器和执行器网络 167

无线集成化网络传感器 169

智能微尘 172

用做无人值守地面传感器的加速度传感器 173

NeuRFonTM系统 174

参考文献 176

第9章 微机电系统传感器及器件 177

微机电系统的基本概念 177

微机电系统的构成与原理 178

微机电系统用材料及其制备 179

金属 179

半导体 181

陶瓷、聚合物和复合材料 183

微机电系统的工艺技术 183

体微机械加工技术 183

表面微机械加工技术 194

LIGA技术 196

准LIGA技术 198

微立体光刻技术 198

微机电系统—叉指换能器（MEMS-IDT）式传感器件 203

MEMS-IDT式加速度传感器的原理 203

MEMS-IDT式加速度传感器的制作 204

MEMS器件及系统 210

微传感器 210

微执行器 215

微型光机电器件和系统 221

微型生物化学芯片 223

微型机器人 225

微型动力系统 227

MEMS技术的应用 228

参考文献 230

第10章 智能传感器 231

智能传感器的结构、功能、特点及分类 232

智能传感器的结构 232

智能传感器的主要功能 232

智能传感器的特点 234

智能传感器主要产品的分类 235

几种智能传感器的介绍 23

智能温度传感器 237

人工神经网络智能气体传感器 244

智能惯性传感器 245

智能磁场传感器 251

智能压力传感器 253

智能差压传感器 255

智能温度压力传感器 255

智能传感器在武器装备中的应用 256

参考文献 258

缩略语 259