集成电路制造工艺员 中级PDF电子书下载

第1单元　绪论 3

1.1　集成电路产业发展的历史 3

1.2　我国集成电路产业发展的历史和现状 6

思考题 9

第2单元　半导体基础知识 13

2.1　半导体物理基础知识 13

2.2　晶体管原理 37

思考题 44

第3单元　集成电路制造工艺 47

3.1　半导体衬底制备 47

3.2　氧化工艺 53

3.3　光刻工艺 61

3.4　掺杂工艺 72

3.5　淀积和刻蚀 80

3.6　多层金属化 88

3.7　工艺集成 95

思考题 105

第4单元　集成电路制造相关设备及操作入门 105

4.1　集成电路制造环境和安全生产 109

4.2　氧化工艺设备及操作入门 116

4.3　光刻工艺设备及操作入门 126

4.4　掺杂工艺设备及操作入门 134

4.5　淀积与刻蚀工艺设备及操作入门 139

4.6　金属化工艺设备及操作入门 155

思考题 160