半导体及薄膜物理PDF电子书下载

目 录 2

第一篇半导体 2

第一章半导体物理基础 2

§1-1本征半导体和杂质半导体 2

§1-2平衡时电子和空穴的统计分布 9

§1-3载流子的迁移现象和霍耳效应 19

§1-4非平衡载流子 33

§1-5 P-N结 45

§1-6热电子效应 56

第二章氧化物半导体 61

§2-1典型氧化物的结构 61

§2-2氧化物半导体的化学计量比偏移和杂质缺陷 65

§2-3氧化物半导体的点缺陷理论 69

§2-4极化子理论 86

§2-5某些氧化物的能带结构和电导 90

第二篇 固体的表面和界面 100

第三章表面与界面的原子过程 100

§3-1表面热力学 100

§3-2表面与界面的原子结构 103

§3-3表面吸附 113

§3-4表面扩散和界面扩散 117

第四章表面与界面的电子过程 129

§4-1功函数与表面电子态 129

§4-2表面与界面的电子发射 132

§4-3界面接触效应 135

第三篇薄膜物理 146

第五章薄膜的形成和结构 146

§5-1核的形成 146

§5-2膜的生长 152

§5-3关于薄膜结构的一些问题 159

第六章薄膜的力学性质 170

§6-1薄膜的附着力 170

§6-2附着力的来源 172

§6-3薄膜中的内应力 177

§6-4淀积参数对薄膜内应力的影响 184

第七章薄膜的电导 191

§7-1金属膜的电导 191

§7-2金属陶瓷薄膜的电导 207

§7-3介质膜的电导 215

第八章金属薄膜中的电迁移 223

§8-1薄膜中的电迁移现象 223

§8-2电迁移和薄膜电路失效的关系 226

§8-3增强薄膜导电带抗电迁移能力的一些措施 229

第九章介质膜的电气特性 232

§9-1介质膜的结构特征 232

§9-2介质膜的直流电导 236

§9-3介质膜的介电系数 240

§9-4介质膜的交流电导与损耗 247

§9-5介质膜的击穿 256

§ 9-6金属——介质夹层中的现象 266