用于恶劣环境的碳化硅微机电系统PDF电子书下载

第1章　SiC MEMS概述 1

1．简介 1

2．SiC材料性能 2

3．制作微机电（MEM）器件 3

4．表面改性 6

5．SiC MEMS的频率调谐 8

6．MEMS的机械测试 9

7．应用举例 10

8．小结 10

参考文献 10

第2章　SiC MEMS沉积技术 14

1．概述 14

2．与SiC沉积相关的问题 15

3．APCVD 16

4．PECVD 19

5．LPCVD 20

6．LPCVD SiC薄膜的掺杂 25

7．其他沉积方法 27

8．小结 28

参考文献 28

第3章　与SiC接触开发相关的问题综述 32

1．概述 32

2．热稳定性 32

3．p型SiC的欧姆接触 43

4．使用Ni的欧姆接触 51

5．肖特基接触缺陷的影响 58

6．小结 60

参考文献 62

第4章　SiC的干法刻蚀 68

1．概述 68

2．等离子刻蚀基础 69

3．SiC的等离子刻蚀 74

4．等离子体化学 76

5．掩膜材料 78

6．近期发展及未来展望 80

7．小结 81

参考文献 81

第5章　SiC MEMS的设计、性能和应用 85

1．概述 85

2．SiC MEMS器件 91

3．结论和展望 109

参考文献 111

附录 121