国外半导体技术 第3辑 砷化镓晶体生长技术专辑PDF电子书下载

目录 1

1．砷化镓的发展历史 1

2．砷化镓的导电现象 3

3．砷化镓器件的现状 8

4．高纯度镓 11

5．高纯度砷 15

6．砷化镓晶体生长法（Ⅰ） 21

7．砷化镓晶体生长法（Ⅱ） 30

8．砷化镓晶体生长热力学 38

9．砷化镓外延生长层的电特性 48

10．砷化镓数据表 56