洁净室技术PDF电子书下载

目录 1

概述 1

第一章对生产环境洁净度的要求 3

第二章悬浮尘粒的形成和特性 10

1．尘源 10

2．生产间的尘粒 11

3．尘粒在空气中的分布 14

4．尘粒对制品危害的机理 20

第三章洁净生产环境的建立方法和设备 23

1杜绝室外空气中的悬浮尘粒进入洁净室 26

室外环境 26

生活间 28

洁净室的密闭 36

2．减少洁净室中的尘源 40

洁净室 40

动力管线 56

洁净室的工作制度 64

送风系统 66

3．净除生产环境中的悬浮尘粒 66

净化工作台 82

4．空气调节 97

空调器 101

5．空气净化 106

过滤材料 108

过滤器 109

回风净化装置 118

空气净化系统 124

6．扫除 133

7．洁净环境参数的检测 135

环境洁净度的测试设备 140

第四章 制品在运输时的防尘 143

1．柜 143

2．容器 144

3．膜 150

4．手套和指套 150

第五章技术经济因素 153

结束语 160

参考文献 161