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MOS集成电路工艺规范
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  • 电子书积分:9 积分如何计算积分?
  • 作 者:上海元件五厂 上海半导体研究所
  • 出 版 社:上海科学技术文献出版社
  • 出版年份:1980
  • ISBN:
  • 页数:196 页
图书介绍:
《MOS集成电路工艺规范》目录

通用工艺规范 1

P—MOS硷栅工艺规范 18

CMOS金属栅工艺规范 70

N-MOS金属栅工艺规范 136

译后注 195

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