真空检测仪表与装置PDF电子书下载

一、综述 1

（一）真空技术的重要性 1

（二）国外真空科研概况 3

1．当前真空科研动向 3

2．表面科学 4

3．薄膜物理及技术 6

（三）国外真空工业的现状与发展趋势 9

1．真空工业的范围 9

2．真空工业的现状 9

3．真空工业的发展趋势 13

二、国外真空科研活动简介（组织机构与会议） 14

（一）真空科学技术历史简介 14

（二）国际真空科学、技术及应用联合会（IUVSTA）简介 16

1．联合会组织基本情况简介 16

2．历届国际真空会议简况表 17

（三）美国真空科学技术团体简介 18

1．美国真空协会（AVS）简介 18

2．美国真空设备制造商协会（AVEM）简介 18

3．美国真空镀膜装置协会（SVC）简介 18

（四）日本真空技术株式会社（ULVAC）科研机构简介 18

1．公司技术开发部简介 18

2．超材料研究所简介 19

（五）英国爱德华真空学校简介 21

（六）国外真空专业杂志及有关杂志表 22

三、国外真空企业情况简介（主要国家主要公司） 24

（一）美国瓦里安（Varian）公司简介 24

（二）美国威科（Veeco）公司简介 27

（三）美国珀金—埃尔默（Perkin-Elmer Corp）公司简介 28

（四）美国真空联合公司（C·V·C）简介 29

（五）美国G·C·A公司简介 29

（六）美国斯隆技术公司（Sloan Technology Corp．）简介 30

（七）日本真空技术株式会社（ULVAC）简介 30

（八）日本日电瓦里安（NEVA）公司简介 32

（九）日本大阪真空机器制作所简介 34

（十）日本岛津制作所简介 35

（十一）日本德田制作所简介 35

（十二）日本真空器械工业株式会社简介 35

（十三）西德莱博尔德—黑罗依斯（Leybold-Heraeus）公司简介 36

（十四）法国SOGEV公司简介 39

（十五）英国V.G．公司简介 40

（十六）英国爱德华高真空公司（Edwards）简介 40

（十七）瑞士巴尔泽斯（Balzers）公司简介 40

四、国外真空产品情况简介（真空仪器与真空镀膜装置） 41

（一）真空检测仪器 41

1．真空计（全压强测量） 42

（1）热导真空计 42

（2）麦氏真空计和压缩式真空计 44

（3）机械式真空计 44

（4）潘宁式真空计 45

（5）热阴极电离真空计 45

（6）真空继电器 47

（7）真空过程控制器 47

（8）日本日电瓦里安（ANELVA）公司产品 49

（9）日本真空技术株式会社（ULVAC）产品 50

2．真空残余气体分析仪器（分压强测量） 51

（1）英国AEI公司产品 51

（2）英国VG公司产品 52

（3）美国C.V.C．公司产品 55

（4）美国瓦里安（Varian）公司产品 56

（5）日本日电瓦里安（ANELVA）公司产品 56

（6）日本真空技术株式会社（ULVAC）产品 59

（7）法国RIBER公司产品 60

（8）西德VARIAN.MAT公司产品 61

3．真空检漏仪器 62

（1）美国瓦里安公司产品 62

（2）美国爱柯—台梅斯凯尔（Airco-remascal）公司产品 63

（3）法国奥尔凯通（ALCATEL）公司产品 63

（4）英国爱德华公司（Edwards）产品 66

（5）英国Centronic公司产品 69

（6）日本真空技术株式会社产品 70

（7）日本日电瓦里安公司产品 72

（8）使用探索气体的非质谱型检漏仪 74

（二）真空表面仪器 76

1．概述 76

2．主要制造公司及产品 77

（1）瑞士巴尔泽斯公司产品 77

（2）美国物理电子工业公司产品 78

（3）英国V·G公司产品 78

（4）美国瓦里安公司产品 79

（5）美国威科公司产品 79

（三）真空镀膜装置 79

1．真空蒸发镀膜装置 79

（1）美国C.V.C．公司产品 79

（2）美国爱柯—台梅斯凯尔公司产品 81

（3）美国瓦里安公司产品 82

（4）美国威科公司产品 84

（5）西德莱博尔德—黑罗依斯公司产品 85

（6）日本日电瓦里安公司产品 88

（7）日本真空技术株式会社产品 88

（8）英国爱德华公司产品 94

（9）瑞士巴尔泽斯公司产品 94

2．真空溅射镀膜装置 95

（1）美国CVC公司产品 95

（2）美国爱柯—台梅斯凯尔公司产品 98

（3）美国瓦里安公司产品 100

（4）美国威科公司产品 101

（5）西德莱博尔德—黑罗依斯公司产品 101

（6）日本日电瓦里安公司产品 104

（7）日本真空技术株式会社产品 109

（8）瑞士巴尔泽斯公司产品 112

3．真空镀膜自动控制仪器及膜厚测量仪器 113

（1）美国斯隆公司（Sloan）产品 113

（2）西德莱博尔德—黑罗依斯公司产品 117

（3）膜厚监控器 119

（4）光学膜厚监控器 120

（5）淀积速率计 120