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前言页 1

一、真空常识 1

(一) 大气与真空 1

(二) 真空量度单位 5

(三) 真空环境的特点 6

(四) 真空技术的应用 9

二、怎样得到真空 47

(一) 获得真空的基本方法 47

(二) 什么是真空泵 50

(三) 气体传输泵 52

(四) 气体捕集泵 66

三、如何测量真空 76

(一) 测量真空度的基本方法 76

(二) U型管真空计 78

(三) 麦氏计 78

(四) 热偶真空计及其使用与维护 81

(五) 电离真空计及其使用与维护 82

(六) B-A真空计及其维护 85

(七) 使用规管时应注意的事项 87

(一) 何为真空系统 92

四、真空系统操作与维护 92

(二) 油扩散泵真空系统 97

(三) 溅射离子泵--钛升华泵真空系统 108

五、真空系统的简单计算 114

(一) 真空管路的流导 114

(二) 真空装置极限真空及工作压强 122

(三) 怎样计算真空泵的抽速 126

(四) 抽气时间的计算 128

(一) 漏气对真空设备的影响 130

六、漏气现象 130

(二) 漏孔表示方法及真空装置的允许漏率 132

(三) 易漏气部位 133

(四) 常用检漏方法 135

(五) 堵漏 143

七、真空装置的清洁处理 145

(一) 真空元件为什么要作清洁处理 145

(二) 清洁真空零件的方法 146

(三) 特殊清洁处理方法 150

(四) 清洗实例 153