小如蚂蚁 半导体传感器与微电子机械系统PDF电子书下载

1 概论 1

1．1传感器的作用与地位 1

1．2传感器的技术发展 6

1．3平面工艺简介 12

2 半导体传感器工作原理、结构与特性 16

2．1硅材料与硅传感器 16

2．2半导体光敏传感器 18

2．3半导体力学量传感器 30

2．4半导体磁敏传感器 37

2．5半导体温度传感器 42

2．6场效应管敏感器件 46

2．7集成传感器 51

2．8发展现状与趋势 57

3 微电子机械系统 60

3．1电子机械系统与微电子机械系统 60

3．2微机械执行器与微电子机械系统的发展 62

3．3微机械加工技术 66

3．4微机械执行器 81

3．5微电子机械系统（MEMS） 95

3．6微电子机械系统的发展趋势 108

4 国家攀登计划“微电子机械系统”研究成果 111

4．1微马达 112

4．2微电子机械系统 117

4．3技术和材料 123

4．4小结和展望 131

一、在工业生产控制系统中的应用 140

附 应用举例 140

二、在汽车和船舶中的应用 143

三、在安全、防火方面的应用 146

四、在电力测量中的应用 147

五、在家用电器中的应用 148

六、在医学中的应用 149

七、在纺织行业中的应用 150

八、在显示器及数码相机中的应用 151

九、在尖端武器中的应用 152

小词典 154