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目录 1

第一章 真空技术基础 1

一、真空技术及其应用 1

（一）地球上的真空 1

（二）真空度的单位 1

（三）真空的特点及区域划分 4

（四）真空技术的应用 6

二、真空中的气体分子特性 12

（一）气体定律 12

（二）气体的压力、质量、密度及速度 14

（三）平均自由程 15

（四）蒸发凝结与饱和蒸气压 18

（五）气体的迁移 21

（六）吸附与解吸 23

第二章 真空获得设备 25

一、概述 25

（一）真空泵的工作原理 26

（二）真空泵的主要参数 26

（三）各类真空泵的抽速及工作范围 26

（四）真空泵型号编制方法 27

二、机械真空泵 29

（一）往复真空泵 29

（二）水环真空泵 31

（三）油封旋转式真空泵 36

（四）罗茨真空泵 51

（五）涡轮分子泵 53

三、蒸气流泵 54

（一）扩散泵 54

（二）喷射泵 60

（三）扩散喷射泵 62

四、物理化学泵 65

（一）吸附泵 65

（二）吸气离子泵 66

（三）钛升华泵 71

（五）吸气剂泵 72

（四）低温泵 72

五、真空机组 74

（一）真空机组型号编制方法 74

（二）低真空机组 75

（三）高真空机组 77

（四）超高真空机组 78

六、真空泵的试验 82

（一）运转试验 82

（二）性能试验 82

（三）油扩散泵性能试验方法 83

第三章 真空系统 91

一、真空材料 91

（一）结构材料 91

（二）绝缘密封材料 95

（三）真空油、脂材料 96

二、真空系统的组合部件 101

（一）真空室 101

（二）阀 101

（三）档板 104

（四）阱 107

三、真空系统的组装与调试 109

（一）真空卫生与清洁处理 109

（二）固定连接 112

（三）可拆连接 112

（四）可动连接 123

（五）观察窗 128

（六）真空系统的组装与调试 129

四、真空系统的设计 130

（一）真空系统中气体的流动 130

（二）真空系统计算的基本公式 131

（三）分子流、粘滞流对20℃空气、孔和管道的流导计算公式 132

（四）真空系统的设计计算 134

（五）真空计算尺 140

五、真空系统的典型结构 141

（一）低真空系统 141

（二）中真空系统 141

（三）高真空系统 142

（四）超高真空系统 143

六、真空系统的操作规程 145

第四章 真空测量 147

一、真空计的分类与选择 147

二、全压真空计 148

三、绝对真空计 148

（一）U形真空计 153

（二）压缩式真空计 153

（三）热辐射真空计 153

（一）电容式薄膜真空计 154

（三）电阻式薄膜真空计 154

（二）电感式薄膜真空计 154

五、弹性真空计 154

四、相对真空计 154

六、热传导真空计 155

（一）电阻真空计 157

（二）热偶真空计 159

（三）热敏电阻真空计 163

七、电离真空计 163

（一）放射性电离真空计 163

（二）热阴极电离真空计 166

（三）B—A式电离真空计 171

（四）热阴极磁控电离真空计 175

（五）冷阴极电离真空计 175

（六）冷阴极磁控真空计 176

（七）放电管指示器 180

（八）国产热偶电离真空计 182

八、粘滞性真空计 187

（一）衰减真空计 187

（二）旋转分子真空计 187

（三）谐振—粘滞真空计 187

（四）振膜真空计 187

九、国产真空计规管主要性能 188

十、分压真空计 191

（一）磁编转质谱计 191

（三）四极质谱计 192

（二）回旋质谱计 192

十一、真空计的使用与校准 193

（一）真空计的选择 193

（二）真空计的安装 193

（三）真空计的使用 195

（四）真空计的校准 196

（五）标准压缩真空计 197

（六）6301型膨胀式玻璃校准系统 197

（七）金属超高真空检定系统 198

（八）BDZ型标准电离真空计 200

（三）标准孔及其校准 201

（一）定义 201

（二）漏孔和漏率 201

一、基本概念 201

第五章 真空检漏 201

（四）极限真空度和最大漏率极限 207

二、检漏方法 209

（一）检漏方法的分类 209

（二）压力检漏法 210

（三）真空检漏法 210

（四）其他检漏法 213

三、氦质谱检漏仪 213

四、最大漏率的测量 224

（一）漏气源的分析 225

（二）特种冶炼设备及真空电阻炉最大漏率的探测 226

（三）无线电真空设备、真空镀膜机最大漏率的探测 228

（四）钢水真空处理及真空密封造型装置最大漏率的探测 228

（五）最大漏率计算图 228

五、国产氦质谱检漏仪 230

（一）JLH—1型氦质谱检漏仪 230

（二）ZLS—23型氦质谱检漏仪 231

（三）ZhP—4G型超高灵敏氦质谱探漏仪 231

（四）6104A型氦质谱检漏仪 232

（五）JLH—3型高灵敏氦质谱检漏仪 232

（六）LX—3型卤素检漏仪 233

（七）DG—4型、DG—4c型嗅敏检漏仪 234

一、真空感应炉 236

（一）结构原理及特点 236

第六章 真空应用设备 236

（二）ZG系列真空感应炉 238

（三）真空感应炉熔炼工艺 240

二、真空感应烧结炉 246

（一）ZG？—系列真空感应烧结炉 246

（二）ZGC—250—20J真空感应气相沉积炉 247

（三）ZRJ—30—22真空钽烧结炉 248

三、真空电弧炉 248

（一）概述 248

（二）结构组成 249

（三）电源 249

（四）电极的制备 250

（一）概述 252

（二）结构 252

（五）真空系统 252

四、真空凝壳炉 252

（六）ZH系列真空自耗电极电弧炉 252

（三）ZHN系列真空凝壳炉主要技术参数 253

五、电子轰击炉 253

（一）原理、特点和用途 254

（二）基本熔炼方式及设备组成 254

（三）熔炼工艺 254

（四）电子束发生器 256

（五）供电系统 256

（一）结构型式 258

（六）国产电子轰击炉 258

六、真空电阻炉 258

（二）各种真空电阻炉一览表 259

（三）电真空器件用真空炉一览表 259

七、真空镀膜装置 259

（一）工作原理 259

（二）结构及分类 260

八、其它真空应用设备 270

（一）真空冷冻干燥设备 270

（二）扫描电子显微镜 270

（三）离子注入机、刻蚀机和分子束外延装置 271

（四）真空浸渍、灌注、涂复、储存、加热及包装设备 274

（五）低温容器 275

附录 277

附录一 真空技术图形符号 277

附录二 我国现有与真空技术有关的标准 285

附录三 常用气体的基本物理—化学常数 286

附录四 主要溶剂的性质 290

附录五 真空在电炉中的应用 291

附录六 清洗剂配方 292

附录七 不同牌号材料的可焊性 297

附录八 几种主要焊接方法的特性和应用 298

附录九 材料在室温下处于真空中1小时的放气率 300

附录十 材料单位重量放气量 300

参考文献 301